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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-11-09 11:20 ［招待講演］GaN基板上GaN縦型パワーデバイスの研究開発の進展と今後の展望 ○須田 淳（名大）  SDM2023-63 |
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| 抄録 | （和） | GaN基板上に作製したGaN縦型パワーデバイスの研究開発の進展と今後の動向について述べる．GaN縦型パワーデバイスの設計に必要な基礎物性である, インパクトイオン化やバンド間トンネリング等の電子物性, 縦型パワーデバイス作製に必要なエピタキシャル成長技術, イオン注入技術, MOS界面技術の研究動向について解説する．また, 今後GaN縦型パワーデバイスの社会実装に向けての取り組みについても述べる． |
| （英） | Recent progress of GaN vertical power devices which fabricated on n-type GaN bulk substates. Fundamental properties of GaN (impact ionization and Zener band-to-band tunneling), progress of GaN bulk substrate developments, device fabrication processes such as epitaxial growth, ion implantation and MOS interface are reviewed. Future challenges toward commercialization of GaN vertical devices are also discussed. | |
| キーワード | （和） | GaN / 縦型パワーデバイス / MOS / イオン注入 / 電子物性 / / / |
| （英） | GaN / vertical power devices / MOS / ion implantation / electrical properties / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 250, SDM2023-63, pp. 7-7, 2023年11月. | |
| 資料番号 | SDM2023-63 | |
| 発行日 | 2023-11-02 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2023-63 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2023-11-09 - 2023-11-10 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 5階 5S-2 会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2023-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GaN基板上GaN縦型パワーデバイスの研究開発の進展と今後の展望 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Current Status and Future Prospects of GaN Vertical Power Devices on GaN substrates |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN / GaN |
| キーワード(2)（和/英） | 縦型パワーデバイス / vertical power devices |
| キーワード(3)（和/英） | MOS / MOS |
| キーワード(4)（和/英） | イオン注入 / ion implantation |
| キーワード(5)（和/英） | 電子物性 / electrical properties |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須田 淳 / Jun Suda / スダ ジュン |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-11-09 11:20:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2023-63 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.250 |
| ページ範囲 | p.7 |
| ページ数 | 1 |
| 発行日 | 2023-11-02 (SDM) |
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