| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-11-10 11:10 光学的線形判別フィルタとニューラルネットワークの同時学習アルゴリズム ～ 誘電体表面の微細な三次元欠陥の凹凸識別への適用 ～ ○島田慎吾・杉坂純一郎・平山浩一・安井 崇（北見工大）  EMT2023-79 |
|
| 抄録 | （和） | 微小構造を検出・識別するため，光計測技術と機械学習を応用した様々な検査手法が提案されているが，照明光の波長以下の微細な構造に対しては，回折限界の制約のため正確に識別することは困難である．我々は，誘電体表面の微細な欠陥の凹凸を判別するための回折光学素子（光フィルタ）とニューラルネットワークを組み合わせたシステムを設計してきた．これまでフィルタとニューラルネットワークは個別に最適化されてきたが，本研究では両者を同時に最適化し，ニューラルネットワークの判別処理に最適な情報をフィルタが提供できるようにすることで，さらなる判別精度の向上を試みる．さらに，光フィルタからの出力強度を十分な大きさに保持するための設計アルゴリズムも追加する． |
| （英） | Various optical measurement methods using optical measurement technique and machine learning have been proposed to discriminate fine structures. However, it is difficult to accurately discriminate structures below the illumination wavelength due to the diffraction limit. We have designed a system using diffractive optical elements (optical filter) and a neural network to discriminate fine defects on a dielectric substrate. Whereas the filters and neural networks have been optimized separately, in this study, we attempt to further improve the discrimination accuracy by simultaneously optimizing the filters and the neural network. We also introduce an optimization process to increase the output intensity from the optical filters to keep the intensity at a detectable level. | |
| キーワード | （和） | 光計測 / 逆散乱解析 / 計算機合成ホログラム / 時間領域差分法 / 機械学習 / / / |
| （英） | optical measurement / inverse-scattering analysis / computer-generated hologram / time domain subtraction method / machine learning / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 251, EMT2023-79, pp. 91-95, 2023年11月. | |
| 資料番号 | EMT2023-79 | |
| 発行日 | 2023-11-02 (EMT) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2023-79 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT IEE-EMT |
| 開催期間 | 2023-11-09 - 2023-11-11 |
| 開催地（和） | 海峡メッセ下関 |
| 開催地（英） | Kaikyo Messe Shimonoseki |
| テーマ（和） | 電磁界理論一般 |
| テーマ（英） | Electromagnetic Theory, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMT |
| 会議コード | 2023-11-EMT-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 光学的線形判別フィルタとニューラルネットワークの同時学習アルゴリズム |
| サブタイトル（和） | 誘電体表面の微細な三次元欠陥の凹凸識別への適用 |
| タイトル（英） | Simultaneous Learning Algorithm of Optical Linear Discriminant Filter and Neural Network |
| サブタイトル（英） | Application to the discrimination of fine three-dimensional defects on dielectric surfaces |
| キーワード(1)（和/英） | 光計測 / optical measurement |
| キーワード(2)（和/英） | 逆散乱解析 / inverse-scattering analysis |
| キーワード(3)（和/英） | 計算機合成ホログラム / computer-generated hologram |
| キーワード(4)（和/英） | 時間領域差分法 / time domain subtraction method |
| キーワード(5)（和/英） | 機械学習 / machine learning |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島田 慎吾 / Shingo Shimada / シマダ シンゴ |
| 第1著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉坂 純一郎 / Jun-ichiro Sugisaka / スギサカ ジュンイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平山 浩一 / Koichi Hirayama / ヒラヤマ コウイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 崇 / Takashi Yasui / ヤスイ タカシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 北見工業大学 (略称： 北見工大) Kitami Institute of Technology (略称： Kitami Inst. Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-11-10 11:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMT |
| 資料番号 | EMT2023-79 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.251 |
| ページ範囲 | pp.91-95 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2023-11-02 (EMT) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]