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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-11-16 17:10 レイアウト起因LSI欠陥検出における欠陥モデルとデータ拡張手法の検討 ○杉岡拓海・永村美一（都立大）・新井雅之（日大）・福本 聡（都立大）  VLD2023-62 ICD2023-70 DC2023-69 RECONF2023-65 |
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| 抄録 | （和） | 半導体集積回路において，欠陥の原因を特定することはその信頼性を確保するうえで重要である． 回路レイアウトに起因する欠陥においてCNNを使用し，レイアウトごとの危険性を判定する手法が提案されている． CNNの学習に際しては，膨大な量のデータが必要となるが，開発初期段階においてはデータ量が少ないため，データ拡張手法についていくつかの研究が行われている． 本研究では，レイアウト自体が不良危険性をもつようなモデルを使用し，欠陥発生の危険性の有無を少量の枚数で判定することを目標とした． 新たな欠陥画像モデルとして，特定のスタンダードセルに見立てたものをドットパターンではなく 特定のM2層とM3層のそれぞれの一部分にし，この二つの配置の仕方により欠陥であるかを決めるようにした． 新たなモデルで評価を行ったところ，元の欠陥画像20枚をもとにFSGANによって拡張したデータで学習させたCNNにおいて，分類精度86％が得られた． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | LSI / 半導体 / 画像分類 / CNN / レイアウト起因欠陥 / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 260, DC2023-69, pp. 168-172, 2023年11月. | |
| 資料番号 | DC2023-69 | |
| 発行日 | 2023-11-08 (VLD, ICD, DC, RECONF) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2023-62 ICD2023-70 DC2023-69 RECONF2023-65 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC RECONF ICD IPSJ-SLDM |
| 開催期間 | 2023-11-15 - 2023-11-17 |
| 開催地（和） | くまもと市民会館シアーズホーム夢ホール |
| 開催地（英） | Civic Auditorium Sears Home Yume Hall |
| テーマ（和） | デザインガイア2023 -VLSI設計の新しい大地- |
| テーマ（英） | Design Gaia 2023 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | DC |
| 会議コード | 2023-11-VLD-DC-RECONF-ICD-SLDM |
| 本文の言語 | 日本語（英語タイトルなし） |
| タイトル（和） | レイアウト起因LSI欠陥検出における欠陥モデルとデータ拡張手法の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | LSI / |
| キーワード(2)（和/英） | 半導体 / |
| キーワード(3)（和/英） | 画像分類 / |
| キーワード(4)（和/英） | CNN / |
| キーワード(5)（和/英） | レイアウト起因欠陥 / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉岡 拓海 / Takumi Sugioka / スギオカ タクミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京都立大学 (略称： 都立大) Tokyo Metoropolitan University (略称： Tokyo Metoropolitan Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永村 美一 / Yosikazu Nagamura / ナガムラ ヨシカズ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京都立大学 (略称： 都立大) Tokyo Metoropolitan University (略称： Tokyo Metoropolitan Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新井 雅之 / Masayuki Arai / アライ マサユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) Nihon University (略称： Nihon Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福本 聡 / Satoshi Fukumoto / フクモト サトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京都立大学 (略称： 都立大) Tokyo Metoropolitan University (略称： Tokyo Metoropolitan Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-11-16 17:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | DC |
| 資料番号 | VLD2023-62, ICD2023-70, DC2023-69, RECONF2023-65 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.258(VLD), no.259(ICD), no.260(DC), no.261(RECONF) |
| ページ範囲 | pp.168-172 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2023-11-08 (VLD, ICD, DC, RECONF) |
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