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| 講演名 | 2023-12-22 15:20 ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大）  US2023-64 |
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| 抄録 | （和） | RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱なRF信号はレクテナのダイオードのしきい値電圧を超えないため、RF-DC変換の効率は悪くなる。本研究では、c軸ジグザグScAlN多層膜を用いたBAW共振子型圧電トランスを提案する。音響ブラッグ反射器を用いた音響多層膜共振子（SMR）型トランスは、以前に報告した基板付き薄膜共振子(HBAR)型トランスよりも広帯域の動作が可能である。SMR型圧電トランスはRFマグネトロンスパッタリングにより作製した。その結果、音響ブラッグ反射器上に180°対称に配向したジグザグ配向を確認し、昇圧比は約2.7倍となった。また、比帯域幅は3.2%となり、HBAR型トランスの46倍の広帯域化を実現した。 |
| （英） | RF signal can be converted to DC signal using an antenna and diode (rectenna). When distance of wireless transfer is long, RF-DC conversion efficiency is inefficient because a weak RF signal cannot exceed the threshold voltage of the diodes in the rectenna. This study proposes resonator type piezoelectric transformer based on c-axis zig-zag ScAlN films. Solidly mounted resonator (SMR) type transformer using an acoustic Bragg reflector enables a wider bandwidth operation than previously reported film/substrate type transformer.. As a result, zig-zag multilayers where c-axis oriented 180° symmetrically on the acoustic Bragg reflector was fabricated by oblique RF magnetron sputtering. Voltage gain of 2.7 and the fractional bandwidth of 3.2% which was 46 times wider than that of film/substrate type transformer were observed. | |
| キーワード | （和） | レクテナ / ScAlN / 分極反転構造 / c軸ジグザグ / / / / |
| （英） | Rectenna / ScAlN / polarization inversion structure / c-axis zig-zag / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 321, US2023-64, pp. 47-52, 2023年12月. | |
| 資料番号 | US2023-64 | |
| 発行日 | 2023-12-15 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2023-64 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US |
| 開催期間 | 2023-12-22 - 2023-12-23 |
| 開催地（和） | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ＜音響・超音波サブソサイエティ合同研究会＞応用／電気音響，超音波一般 |
| テーマ（英） | [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2023-12-EA-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | SMR-type piezoelectric transformer using shear mode c-axis zigzag ScAlN multilayer |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | レクテナ / Rectenna |
| キーワード(2)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(3)（和/英） | 分極反転構造 / polarization inversion structure |
| キーワード(4)（和/英） | c軸ジグザグ / c-axis zig-zag |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白岩 和剛 / Kazutaka Siraiwa / シライワ カズタカ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda university (略称： Waseda univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-12-22 15:20:00 |
| 発表時間 | 120分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2023-64 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.321 |
| ページ範囲 | pp.47-52 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-12-15 (US) |
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