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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-07-11 11:55 GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33^2の測定 ○内田拓希・浴田航平・島野耀康・柳谷隆彦（早大）  EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 |
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| 抄録 | （和） | 電気機械結合係数は、圧電デバイスの性能を決めるうえで重要な評価指標である。本報告では、圧電体固有の電気機械結合係数k332を抽出する新たな手法を提案する。本手法では、RLC電気共振を利用し、k332を抽出することを試みた。 |
| （英） | The electromechanical coupling coefficient kt2 is one of the important parameters that determine the performance of piezoelectric devices. The resonance-antiresonance method is often used for kt2 evaluation, but this method requires substrate removal, such as FBAR. On the other hand, various kt2 evaluation methods have been reported that do not require substrate removal. In this study, we propose a new method for extracting the intrinsic k332 from HBAR without substrate removal using RLC electric resonance in the GHz band. | |
| キーワード | （和） | 圧電薄膜 / RLC共振 / 電気機械結合係数 / 薄膜共振子 / / / / |
| （英） | Piezoelectric thin film / Electromechanical coupling coefficient / Film bulk acoustic resonators / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 96, MW2024-35, pp. 18-19, 2024年7月. | |
| 資料番号 | MW2024-35 | |
| 発行日 | 2024-07-04 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMT2024-11 MW2024-35 OPE2024-14 EST2024-12 MWPTHz2024-18 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW EMT OPE MWPTHz EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2024-07-11 - 2024-07-12 |
| 開催地（和） | 小樽市民会館 |
| 開催地（英） | otaru-shimin-kaikan |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2024-07-MW-EMT-OPE-MWPTHz-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k33^2の測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electromechanical coupling coefficient evaluation method using RLC electric resonance in the GHz band |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電薄膜 / Piezoelectric thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RLC共振 / Electromechanical coupling coefficient |
| キーワード(3)（和/英） | 電気機械結合係数 / Film bulk acoustic resonators |
| キーワード(4)（和/英） | 薄膜共振子 / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内田 拓希 / Hiroki Uchida / ウチダ ヒロキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浴田 航平 / Kohei Ekida / エキダ コウヘイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島野 耀康 / Yohkoh Shimano / シマノ ヨウコウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-07-11 11:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | EMT2024-11, MW2024-35, OPE2024-14, EST2024-12, MWPTHz2024-18 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.95(EMT), no.96(MW), no.97(OPE), no.98(EST), no.99(MWPTHz) |
| ページ範囲 | pp.18-19 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2024-07-04 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
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