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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-08-02 09:15 GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の縦波および横波機械的通過損失の抽出 ○鈴木基嗣・島野耀康・柳谷隆彦（早大）  US2024-27 |
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| 抄録 | （和） | SMRは圧電層とブラッグ反射器から成るRFフィルタであるが、一般的に圧電層と反射器の特性を独立に評価することは難しい。我々は超音波パルスエコー法により、SiO2遅延層を用いてブラッグ反射器単体の機械的通過特性を評価する手法を提案した。またSMRでは、各層の厚さを1/4波長から変調させることで、ブラッグ反射器の縦波と横波の通過特性の帯域をそろえることができる。これによりSMRのQ値が向上することが知られている。そのため、縦波特性だけでなく横波特性の評価も重要である。そこで本研究では、各層の膜厚を変化させ、縦波と横波の通過特性の帯域を一致させたブラッグ反射器の縦波、横波通過損失を測定した。実験的に得られたブラッグ反射器単体の通過損失と機械回路モデルを用いて得られた理論的な機械的損失はよく一致した。またさらに6 GHz帯の高周波用ブラッグ反射器についても縦波特性の評価を行い、4 GHz帯, 透過率-30 dBまでの特性評価に成功した。 |
| （英） | SMR is RF filter which consists of piezoelectric layer and Bragg reflector. However, evaluating the property of the sole Bragg reflector part is difficult. We proposed the method to evaluate the acoustic transmittance of the sole reflector part by using pulse echo technique with SiO2 delay line. Additionally, since Q-value of SMR improved when both longitudinal and shear waves are reflected at the same frequency range, evaluating not only longitudinal properties but also shear properties is important. Therefore, in this study, longitudinal and shear transmission loss of the Bragg reflector whose longitudinal and shear transmittance is in the same frequency range was measured. Experimental transmission loss of the sole Bragg reflector and the theoretical mechanical properties calculated from the mechanical circuit model showed good agreement. In addition, longitudinal acoustic properties of Bragg reflector in 6 GHz range were evaluated, and -30 dB transmittance in 4 GHz range was successfully measured. | |
| キーワード | （和） | 音響多層膜共振子 / ブラッグ反射器 / 反射特性 / パルスエコー法 / c軸傾斜配向ScAlN薄膜 / / / |
| （英） | SMR / Bragg reflector / Transmittance / pulse echo technique / c-Axis tilted ScAlN film / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 141, US2024-27, pp. 52-57, 2024年8月. | |
| 資料番号 | US2024-27 | |
| 発行日 | 2024-07-25 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2024-27 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2024-08-01 - 2024-08-02 |
| 開催地（和） | 松江テルサ |
| 開催地（英） | Matsue Terrsa |
| テーマ（和） | 物性，超音波一般 (共催：日本レオロジー学会ナノオロジー研究会) |
| テーマ（英） | Material characterization, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2024-08-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の縦波および横波機械的通過損失の抽出 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Extraction of Longitudinal and Shear Mechanical Transmittance of Acoustic Bragg Reflector by GHz Pulse Echo Technique |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 音響多層膜共振子 / SMR |
| キーワード(2)（和/英） | ブラッグ反射器 / Bragg reflector |
| キーワード(3)（和/英） | 反射特性 / Transmittance |
| キーワード(4)（和/英） | パルスエコー法 / pulse echo technique |
| キーワード(5)（和/英） | c軸傾斜配向ScAlN薄膜 / c-Axis tilted ScAlN film |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 基嗣 / Motoshi Suzuki / スズキ モトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島野 耀康 / YohKoh Shimano / シマノ ヨウコウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第4著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第5著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
| 第6著者 所属（和/英） | (略称： ) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-08-02 09:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2024-27 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.141 |
| ページ範囲 | pp.52-57 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2024-07-25 (US) |
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