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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-08-23 15:15 ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性 ○宮嵜愛実・山崎伊織・田中悠馬・小山政俊・藤井彰彦・前元利彦（阪工大）  ED2024-17 |
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| 抄録 | （和） | 酸化ガリウム(Ga2O3) はその結晶構造によって4.7~5.2 eVのバンドギャップを有することから，深紫外線(UV-C)検出器への応用が期待されている．本研究では，ミストCVD法で成膜した非晶質Ga2O3薄膜と，非晶質Ga2O3薄膜にポストアニール処理を行った薄膜の結晶構造，および，光学特性を調べ，それらの薄膜に試作した光検出器の紫外線 (UV) 応答特性を評価した．ポストアニール処理によって変化したGa2O3薄膜の結晶構造，光学特性と，UV光検出特性の関係について調べた結果について報告する． |
| （英） | Gallium oxide (Ga2O3) has a bandgap of 4.7~5.2 eV depending on its crystal structure and is expected to be used in deep ultraviolet detection devices. In this study, the crystal structures and optical properties of mist CVD grown amorphous Ga2O3 thin films and their post-annealed thin films were investigated, and the UV photoresponse of photodetectors fabricated on these thin films was evaluated. We report on the relationship between crystal structures, optical properties and UV photoresponse of Ga2O3 thin film photodetectors. | |
| キーワード | （和） | 酸化ガリウム / Ga2O3 / UV-C / 深紫外線センサ / ミストCVD / / / |
| （英） | Gallium oxide / Ga2O3 / UV-C / Deep-UV photodetector / Mist CVD / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 158, ED2024-17, pp. 15-18, 2024年8月. | |
| 資料番号 | ED2024-17 | |
| 発行日 | 2024-08-16 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2024-17 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2024-08-23 - 2024-08-23 |
| 開催地（和） | 高知工科大学（永国寺キャンパス） |
| 開催地（英） | Kochi University of Technology (Eikokuji Campus) |
| テーマ（和） | 薄膜材料デバイス，一般 |
| テーマ（英） | Thin film materials and devices, general |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2024-08-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | UV Detection Properties of Mist CVD Grown Amorphous Ga2O3 Thin Films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化ガリウム / Gallium oxide |
| キーワード(2)（和/英） | Ga2O3 / Ga2O3 |
| キーワード(3)（和/英） | UV-C / UV-C |
| キーワード(4)（和/英） | 深紫外線センサ / Deep-UV photodetector |
| キーワード(5)（和/英） | ミストCVD / Mist CVD |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮嵜 愛実 / Manami Miyazaki / ミヤザキ マナミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： OIT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山崎 伊織 / Iori Yamasaki / ヤマサキ イオリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： OIT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 悠馬 / Yuma Tanaka / タナカ ユウマ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： OIT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小山 政俊 / Masatoshi Koyama / コヤマ マサトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： OIT) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 彰彦 / Akihiko Fujii / フジイ アキヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： OIT) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前元 利彦 / Toshihiko Maemoto / マエモト トシヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 大阪工業大学 (略称： 阪工大) Osaka Institute of Technology (略称： OIT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-08-23 15:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2024-17 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.158 |
| ページ範囲 | pp.15-18 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-08-16 (ED) |
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