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| 講演名 | 2024-10-17 15:45 局所外れ値因子法によるフルオートオンウエハ測定 ○坂巻 亮（産総研）  EMCJ2024-47 MW2024-100 EST2024-71 |
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| 抄録 | （和） | 産総研はRF信号検出（RSD）法を用いた自動プローブアライメントプロセスを提案した。このアライメント技術は、実際に測定されたSパラメータを解析することで、X軸、Y軸、Z軸、プローブ傾斜角の4軸方向についてプローブの位置再現性を向上させることができる。RSD法は、340GHzまでの帯域で実証されている。RSD法は、測定されたSパラメータを解析してプローブの接触位置を決定する。例えば、X、Y、Z座標は、平面回路の接触パッド上のプローブのタッチダウンを検出することによって決定している。しかし、基板表面が複雑な構造のチップでは、この手法がうまく機能しないことがあった。また、事前の測定システムの校正が必要であった。 本論文では、上記の問題を解決するために、局所外れ値因子(LOF)法[10]を用いた新しいプローブアライメント技術の紹介とデモンストレーションを行う。これまでの検討では基底関数として三角関数を採用してきたが、ガウス関数を使用した事例について紹介する。 |
| （英） | AIST has proposed an automated probe alignment process using the RF signal detection (RSD) method. This alignment technique improves the probe position repeatability in four axes (X-axis, Y-axis, Z-axis, and probe tilt angle) by analyzing the actual measured S-parameters. The RSD method determines the probe contact position by analyzing the measured S-parameters. For example, X, Y, and Z coordinates are determined by detecting probe touchdown on the contact pads of a planar circuit. However, this method sometimes did not work well for chips with complex substrate surface structures. In addition, prior calibration of the measurement system was necessary. In this paper, we introduce and demonstrate a new probe alignment technique using the local outlier factor (LOF) method [10] to solve the above problems. Although trigonometric functions have been employed as basis functions in previous studies, a case study using Gaussian functions will be presented. |
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| キーワード | （和） | ミリ波 / マイクロ波 / 測定技術 / 機械学習 / Sパラメータ / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 211, MW2024-100, pp. 62-63, 2024年10月. | |
| 資料番号 | MW2024-100 | |
| 発行日 | 2024-10-10 (EMCJ, MW, EST) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMCJ2024-47 MW2024-100 EST2024-71 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST MW EMCJ IEE-EMC |
| 開催期間 | 2024-10-17 - 2024-10-18 |
| 開催地（和） | あきた芸術村 温泉ゆぽぽ |
| 開催地（英） | Akita Art Village Onsen Yupopo |
| テーマ（和） | マイクロ波/電磁界シミュレーション/EMC一般 |
| テーマ（英） | Microwave, EM simulation, EMC, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2024-10-EST-MW-EMCJ-EMC |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 局所外れ値因子法によるフルオートオンウエハ測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | * |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミリ波 / |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロ波 / |
| キーワード(3)（和/英） | 測定技術 / |
| キーワード(4)（和/英） | 機械学習 / |
| キーワード(5)（和/英） | Sパラメータ / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂巻 亮 / Ryo Sakamaki / サカマキ リョウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Insdustrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-10-17 15:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | EMCJ2024-47, MW2024-100, EST2024-71 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.210(EMCJ), no.211(MW), no.212(EST) |
| ページ範囲 | pp.62-63 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2024-10-10 (EMCJ, MW, EST) |
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