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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-10-24 16:40 三次元集積デバイスの統計的容量・電流特性計測に向けたインピーダンス計測プラットフォーム ○齊藤宏河・西牧良弥・間脇武蔵・黒田理人（東北大）  SDM2024-53 |
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| 抄録 | （和） | 本稿では，二次元アレイ状に形成した被測定素子(DUT)の容量・電流特性を高速，高精度，統計的に計測可能な，インピーダンス計測プラットフォームについて報告する．開発したプラットフォームは，DUTを有する366列×228行のセルアレイと共通の読み出し回路で構成される．今回，我々はセル回路と同時に形成するテスト測定用DUTを用いて，fFオーダーの容量とfAオーダーの電流を統計的に計測した．本プラットフォーム技術は三次元集積技術を用いることで，様々なデバイスをDUTとして応用することも可能である． |
| （英） | An impedance measurement platform that enables high-speed and high-precision statistical measurement of capacitance and current characteristics of device under tests (DUTs) formed in a 2D array is presented. The developed platform consists of a 366-column × 228-row cell array with DUTs and a common readout circuit. We statistically measured fF-order capacitance and fA-order current using test measurement DUTs formed simultaneously with the cell circuits. The developed platform technology can be applied to various devices as DUTs by using 3D integration technology. | |
| キーワード | （和） | 容量測定 / 電流測定 / アレイテスト回路 / プラットフォーム / / / / |
| （英） | Capacitance Measurement / Current Measurement / Array Test Circuit / Platform / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 222, SDM2024-53, pp. 38-41, 2024年10月. | |
| 資料番号 | SDM2024-53 | |
| 発行日 | 2024-10-17 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2024-53 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2024-10-24 - 2024-10-24 |
| 開催地（和） | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ |
| 開催地（英） | NICHe, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2024-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 三次元集積デバイスの統計的容量・電流特性計測に向けたインピーダンス計測プラットフォーム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Impedance Measurement Platform Toward Statistical Capacitance and Current Characteristic Measurements of 3D Integration Devices |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 容量測定 / Capacitance Measurement |
| キーワード(2)（和/英） | 電流測定 / Current Measurement |
| キーワード(3)（和/英） | アレイテスト回路 / Array Test Circuit |
| キーワード(4)（和/英） | プラットフォーム / Platform |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齊藤 宏河 / Koga Saito / サイトウ コウガ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西牧 良弥 / Ryoya Nishimaki / ニシマキ リョウヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 間脇 武蔵 / Takezo Mawaki / マワキ タケゾウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 黒田 理人 / Rihito Kuroda / クロダ リヒト |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-10-24 16:40:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2024-53 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.222 |
| ページ範囲 | pp.38-41 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-10-17 (SDM) |
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