| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2024-11-08 15:00
TiN薄膜を用いた集中定数力学インダクタンス検出器の高感度化 ○増岡佑人・成瀬雅人・明連広昭(埼玉大) SCE2024-5 |
| 抄録 |
(和) |
TiN薄膜を用いて中赤外光観測を目的とした小型LEKIDsの作製とそれらの薄膜化,細線化による高感度化について報告する.MgO基板上にTiN膜を堆積させたLEKIDsを作製し, TiN膜を薄膜化していくことによって感度が向上することが確認できた.また,インダクタンス部の体積に依存して単一光子の検出感度が向上することが示唆されたため,インダクタンス部の細線化による感度向上を図った. |
| (英) |
We report on the fabrication of small LEKIDs for mid-infrared light observation using TiN thin films, and the enhancement of sensitivity through film thinning and line narrowing. LEKIDs with TiN films were fabricated on MgO substrates, and it was confirmed that the sensitivity improved by thinning the TiN films. Additionally, since it was suggested that the detection sensitivity of single photons depends on the volume of the inductance part, we aimed to enhance sensitivity by narrowing the inductance part. |
| キーワード |
(和) |
TiN / LEKIDs / 中赤外光 / / / / / |
| (英) |
TiN / LEKIDs / Mid-infrared light / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 124, no. 243, SCE2024-5, pp. 4-8, 2024年11月. |
| 資料番号 |
SCE2024-5 |
| 発行日 |
2024-11-01 (SCE) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
| PDFダウンロード |
SCE2024-5 |
| 研究会情報 |
| 研究会 |
SCE |
| 開催期間 |
2024-11-08 - 2024-11-09 |
| 開催地(和) |
東北大学 電気通信研究所 |
| 開催地(英) |
RIEC, Tohoku Univ. |
| テーマ(和) |
超伝導エレクトロニクス一般 |
| テーマ(英) |
Superconducting Electronics |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
SCE |
| 会議コード |
2024-11-SCE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル(和) |
TiN薄膜を用いた集中定数力学インダクタンス検出器の高感度化 |
| サブタイトル(和) |
|
| タイトル(英) |
Improving Sensitivity of Lumped Element Kinetic Inductance Detectors using TiN Thin Film |
| サブタイトル(英) |
|
| キーワード(1)(和/英) |
TiN / TiN |
| キーワード(2)(和/英) |
LEKIDs / LEKIDs |
| キーワード(3)(和/英) |
中赤外光 / Mid-infrared light |
| キーワード(4)(和/英) |
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| キーワード(5)(和/英) |
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| キーワード(6)(和/英) |
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| キーワード(7)(和/英) |
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| キーワード(8)(和/英) |
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| 第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
増岡 佑人 / Yuto Masuoka / マスオカ ユウト |
| 第1著者 所属(和/英) |
埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.) |
| 第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
成瀬 雅人 / Masato Naruse / ナルセ マサト |
| 第2著者 所属(和/英) |
埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.) |
| 第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
明連 広昭 / Hiroaki Myoren / ミョウレン ヒロアキ |
| 第3著者 所属(和/英) |
埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.) |
| 第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2024-11-08 15:00:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
SCE |
| 資料番号 |
SCE2024-5 |
| 巻番号(vol) |
vol.124 |
| 号番号(no) |
no.243 |
| ページ範囲 |
pp.4-8 |
| ページ数 |
5 |
| 発行日 |
2024-11-01 (SCE) |