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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-12-05 14:30 電界誘起酸素エッチングで先鋭化されたW tipの組成分析 ○黒田郁弥・樋上侑一郎・志摩惇紀・岩田達夫・永井滋一（三重大）  ED2024-41 |
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| 抄録 | （和） | 電界誘起酸素エッチングによる電子放出領域の酸化を調べるため、定電界法と定電圧法で先鋭化されたW tipの組成をアトムプローブ装置で分析した。定電界法では先端および側面はともに純タングステンで構成されていた。一方、定電圧法では、先端は純タングステンであったが、ベース部は酸化タングステンで覆われていた。その要因として、エッチング中の電界強度の変化に伴うエッチング領域の変化に起因していると考えられる。 |
| （英） | To investigate the oxidation of the emission area caused by the field-assisted oxygen etching, we analyzed the composition of W tips sharpened by a decreasing bias method and a fixed bias method using atom probe. In the decreasing bias method, the apex and the side of tips consisted of pure tungsten. In contrast, in the fixed bias method, while the apex was composed of pure tungsten, the base was covered with tungsten oxide. The difference is attributed to the change in the etching region due to variations in field strength during the etching process. | |
| キーワード | （和） | 電界誘起酸素エッチング / アトムプローブ / 電界イオン顕微鏡 / / / / / |
| （英） | Field-assisted oxygen etching / Atom probe / Field ion microscope / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 293, ED2024-41, pp. 6-8, 2024年12月. | |
| 資料番号 | ED2024-41 | |
| 発行日 | 2024-11-28 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2024-41 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2024-12-05 - 2024-12-06 |
| 開催地（和） | ウインクあいち（愛知県産業労働センター） |
| 開催地（英） | WINC AICHI |
| テーマ（和） | 電子・イオンビーム応用， 一般 |
| テーマ（英） | Applications of electron and ion beam, general |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2024-12-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 電界誘起酸素エッチングで先鋭化されたW tipの組成分析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Composition analysis of W tips sharpened by field-assisted oxygen etching |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電界誘起酸素エッチング / Field-assisted oxygen etching |
| キーワード(2)（和/英） | アトムプローブ / Atom probe |
| キーワード(3)（和/英） | 電界イオン顕微鏡 / Field ion microscope |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 黒田 郁弥 / Ikumi Kuroda / クロダ イクミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 樋上 侑一郎 / Yuichiro Higami / ヒガミ ユウイチロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 志摩 惇紀 / Junki Shima / シマ ジュンキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 達夫 / Tatsuo Iwata / イワタ タツオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永井 滋一 / Shigekazu Nagai / ナガイ シゲカズ |
| 第5著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-12-05 14:30:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2024-41 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.293 |
| ページ範囲 | pp.6-8 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2024-11-28 (ED) |
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