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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-01-24 11:00 MOVPE法におけるInAlGaN成長の気相反応解析 ○吉岡尚輝・野々田亮平・惠良淳史・畠中 奨・小島善樹（三菱電機）  ED2024-78 MW2024-164 |
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| 抄録 | （和） | 無線通信の大容量化に向けて、より高い周波数で動作可能なトランジスタが求められている。高周波化には、トランジスタの短ゲート化に加えて、短チャネル効果の抑制が必要であるが、現在広く利用されているAlGaNバリア層は、薄層化すると2DEG密度が低下する問題がある。この問題を解決するために、InAlGaNバリア層の適用が報告されている。InAlGaNは自発分極が大きく、薄層でも十分な2DEG密度を誘起することができる。所望の特性を得るためには、InAlGaNの混晶組成制御が重要である。本研究では、InAlGaNの組成制御のために、成長温度と原料供給比を変化させた際の成長炉内の化学種の分布と混晶組成の変化を、実験と熱流体解析ベースのシミュレーション計算によって調査した。成長温度の高温化によるIn組成の減少は、InNの成長駆動力が低下したことが要因である。一方で高温化により、TMAlとTMGaの分解が促進され、AlとGaの結晶への取り込み速度が増加していることを確認した。続いて、TMAl供給比を増加させると気相中および結晶中のAl/Ga比が増加した。さらに、TMAl供給比を増加させると、TMIn供給量が一定にも関わらずIn組成が増加した。この要因については、計算における気相での中間生成物の変遷等から考察を行う。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / 気相反応 / シミュレーション / 成長条件 / / / |
| （英） | InAlGaN / MOVPE / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 355, ED2024-78, pp. 60-62, 2025年1月. | |
| 資料番号 | ED2024-78 | |
| 発行日 | 2025-01-16 (ED, MW) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2024-78 MW2024-164 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW ED |
| 開催期間 | 2025-01-23 - 2025-01-24 |
| 開催地（和） | 深谷公民館・深谷生涯学習センター |
| 開催地（英） | fukaya-kouminkan |
| テーマ（和） | 化合物半導体ICおよび超高速・超高周波デバイス／マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2025-01-MW-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MOVPE法におけるInAlGaN成長の気相反応解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of gas-phase reactions of InAlGaN grown by MOVPE |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / InAlGaN |
| キーワード(2)（和/英） | / MOVPE |
| キーワード(3)（和/英） | 気相反応 / |
| キーワード(4)（和/英） | シミュレーション / |
| キーワード(5)（和/英） | 成長条件 / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉岡 尚輝 / Naoki Yoshioka / ヨシオカ ナオキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野々田 亮平 / Ryohei Nonoda / ノノダ リョウヘイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 惠良 淳史 / Atsushi Era / エラ アツシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 畠中 奨 / Susumu Hatakenaka / ハタケナカ ススム |
| 第4著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小島 善樹 / Yoshiki Kojima / コジマ ヨシキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Elec. Corp.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-01-24 11:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2024-78, MW2024-164 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.355(ED), no.356(MW) |
| ページ範囲 | pp.60-62 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2025-01-16 (ED, MW) |
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