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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-01-29 15:20 ［招待講演］3次元フラッシュメモリ将来世代向けHorizontal channel flash構造 ○小田 穣・坂廻昂祐・妹尾駿一・仲田裕貴・福岡 諒・草井 悠・細谷啓司・中西 徹・萩島大輔・石川俊也・小倉達朗・内藤慎哉・来栖貴史・真野須弥子・荻窪 剛・藤松基彦・杉前紀久子・畠山みな・犬塚雄貴・仁木祐介・田中里英子・柴田 昇・中村 寛・藤原 実・松尾浩司・下城義朗・荒井史隆・近藤正樹・沖 知普・鬼頭 傑（キオクシア）  SDM2024-69 |
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| 抄録 | （和） | チップコスト低減に向けて3次元フラッシュメモリは高積層化されてきたが、将来世代ではNAND長増加に伴うセル電流低下が問題となる。そこでNAND長方向を水平方向にすることでセル電流が積層数に依らず、チップサイズ縮小可能性のある新規構造Horizontal channel flash (HCF)をIEDM2024にて提案した。本報告では、当該構造で新たに導入された構造の概要やデバイス特性について報告する。 |
| （英） | Decreasing cell current will be a significant issue in future 3D NAND flash memory as its stacking number is increased to reduce chip cost. In IEDM2024, we proposed the new architecture of horizontal channel flash, HCF, which has two outstanding features. One is the constant cell current due to the horizontal channel, which results in no independence of the stacking number. The other is better chip size scalability than other 3D NAND flash memories. Here, we report its feature in the cell structure and also its device characteristics estimated by TCAD and on actual devices. | |
| キーワード | （和） | 3次元フラッシュメモリ / セル電流 / Local Block Interconnect / 階段 / Floating gate / / / |
| （英） | 3D NAND flash memory / Cell current / Local Block Interconnect / Staircase / Floating gate / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 367, SDM2024-69, pp. 15-15, 2025年1月. | |
| 資料番号 | SDM2024-69 | |
| 発行日 | 2025-01-22 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2024-69 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2025-01-29 - 2025-01-29 |
| 開催地（和） | 金沢工業大学大学院 虎ノ門キャンパス |
| 開催地（英） | KIT Toranomon Graduate School |
| テーマ（和） | 先端デバイス・ プロセス技術（IEDM特集） |
| テーマ（英） | Advanced semiconductor devices and processes (Special feature on IEDM) |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2025-01-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 3次元フラッシュメモリ将来世代向けHorizontal channel flash構造 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | *** |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 3次元フラッシュメモリ / 3D NAND flash memory |
| キーワード(2)（和/英） | セル電流 / Cell current |
| キーワード(3)（和/英） | Local Block Interconnect / Local Block Interconnect |
| キーワード(4)（和/英） | 階段 / Staircase |
| キーワード(5)（和/英） | Floating gate / Floating gate |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小田 穣 / Minoru Oda / オダ ミノル |
| 第1著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂廻 昂祐 / Kosuke Sakamawari / サカマワリ コウスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 妹尾 駿一 / Shunichi Seno / セノオ シュンイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 仲田 裕貴 / Yuki Nakata / ナカタ ユウキ |
| 第4著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福岡 諒 / Ryo Fukuoka / フクオカ リョウ |
| 第5著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 草井 悠 / Haruka Kusai / クサイ ハルカ |
| 第6著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 細谷 啓司 / Keiji Hosotani / ホソタニ ケイジ |
| 第7著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中西 徹 / Toru Nakanishi / ナカニシ トオル |
| 第8著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 萩島 大輔 / Daisuke Hagishima / ハギシマ ダイスケ |
| 第9著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石川 俊也 / Toshiya Ishikawa / イシカワ トシヤ |
| 第10著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小倉 達朗 / Tatsuo Ogura / オグラ タツオ |
| 第11著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内藤 慎哉 / Shinya Naito / ナイトウ シンヤ |
| 第12著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） | 来栖 貴史 / Takashi Kurusu / クルス タカシ |
| 第13著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） | 真野 須弥子 / Sumiko Mano / マノ スミコ |
| 第14著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荻窪 剛 / Tsuyoshi Ogikubo / オギクボ ツヨシ |
| 第15著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤松 基彦 / Motohiko Fujimatsu / フジマツ モトヒコ |
| 第16著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉前 紀久子 / Kikuko Sugimae / スギマエ キクコ |
| 第17著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） | 畠山 みな / Mina Hatakeyama / ハタケヤマ ミナ |
| 第18著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第19著者 氏名（和/英/ヨミ） | 犬塚 雄貴 / Yuki Inuzuka / イヌヅカ ユウキ |
| 第19著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） | 仁木 祐介 / Yusuke Niki / ニキ ユウスケ |
| 第20著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第21著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 里英子 / Rieko Tanaka / タナカ リエコ |
| 第21著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第22著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴田 昇 / Noboru Shibata / シバタ ノボル |
| 第22著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第23著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 寛 / Hiroshi Nakamura / ナカムラ ヒロシ |
| 第23著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第24著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤原 実 / Makoto Fujiwara / フジワラ マコト |
| 第24著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第25著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松尾 浩司 / Koji Matsuo / マツオ コウジ |
| 第25著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第26著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下城 義朗 / Yoshiro Shimojo / シモジョウ ヨシロウ |
| 第26著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第27著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒井 史隆 / Fumitaka Arai / アライ フミタカ |
| 第27著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第28著者 氏名（和/英/ヨミ） | 近藤 正樹 / Masaki Kondo / コンドウ マサキ |
| 第28著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第29著者 氏名（和/英/ヨミ） | 沖 知普 / / オキ トモヒロ |
| 第29著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 第30著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鬼頭 傑 / Masaru Kito / キトウ マサル |
| 第30著者 所属（和/英） | キオクシア株式会社 (略称： キオクシア) Kioxia Corporation (略称： Kioxia) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-01-29 15:20:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2024-69 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.367 |
| ページ範囲 | p.15 |
| ページ数 | 1 |
| 発行日 | 2025-01-22 (SDM) |
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