| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2025-03-06 16:35
[招待講演]半導体テストシステムにおけるVNA測定機能回路の多チャンネル高集積化技術 ○君島正幸(アドバンテスト研) MW2024-181 |
| 抄録 |
(和) |
半導体テストシステムにおけるVNA測定機能回路の集積マルチチャンネル化技術について述べる.計測性能のディレクティビティとダイナミックレンジに着目し,RFテスト用ベクトルネットワーク解析機能を満足するリフレクトメータSiPを実現するための構成とコア回路トポロジーを提案する.このリフレクトメータは従来のハイブリッド型リフレクトメータに比べ,1/50以下のサイズで,RFICの量産テストに適した性能を有する. |
| (英) |
Technologies of the integrated multichannel for VNA measurement function circuits in semiconductor test systems are described. As primary concerns, focusing on the directivity and dynamic range of the reflect-meter performance, we propose the construction and the core circuit topologies to realize a very small reflect-meter SiP that satisfies functions of the vector network analysis for RF testing. The reflect-meter features a very small size of less than 1/50 compared to our conventional hybrid form reflect-meter with good performance for high volume RFIC testing. |
| キーワード |
(和) |
VNA / リフレクトメータ / 半導体テストシステム / RFIC / / / / |
| (英) |
VNA / reflect-meter / semiconductor test systems / RFIC / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 124, no. 421, MW2024-181, pp. 70-75, 2025年3月. |
| 資料番号 |
MW2024-181 |
| 発行日 |
2025-02-27 (MW) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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