| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2025-03-07 14:15
サブテラヘルツ帯向けIC一体型アンテナの利得測定 ○西村拓真・長峯巧弥(三菱電機)・坂巻 亮・佘 元峰(産総研)・廣田明道(三菱電機) MW2024-192 |
| 抄録 |
(和) |
近年,テラヘルツ帯やサブテラヘルツ帯が注目されている.これら周波数におけるアレーアンテナには,アンテナの小形化や高利得化に加えて,製造性,組立性の良い構造が求められる.
本報告では,サブテラヘルツ帯向けIC一体型アンテナの利得測定結果を示す.測定するアンテナはICの後工程技術である再配線 (RDL)プロセスと厚銅基板の製造プロセスを用いた中空キャビティ付きの二重パッチアンテナであり,製造性や組立性の良いアンテナである.測定時は1 µm程度の位置精度を有するプローブステーションを用いたアンテナ比較法による測定で行った.この結果,使用帯域270 GHzから300 GHzにおいて,アンテナ最大利得2.3 dBi程度が得られることを確認した. |
| (英) |
Recently, THz and Sub-THz band are paid attention. Array antennas at these frequencies are required small and high gain antenna which is easy to manufacture and assemble.
In this paper, we show the measurement result of antenna gain for Sub-THz band. This antenna is a cavity-backed double-patch antenna with low loss and good manufacturability using RDL process and thick copper layer substrate process. We adopted high-precision probe station to measure the antenna to control positions within 1μm accuracy. As a result, we confirmed the maximum antenna gain of the prototype is about 2.3dBi from 270GHz to 300GHz. |
| キーワード |
(和) |
テラヘルツ / サブテラヘルツ / アンテナインパッケージ / RFIC / 高周波パッケージ / / / |
| (英) |
THz band / Sub-THz band / Antenna in package / RFIC / RF-package / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 124, no. 421, MW2024-192, pp. 129-133, 2025年3月. |
| 資料番号 |
MW2024-192 |
| 発行日 |
2025-02-27 (MW) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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MW2024-192 |