| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2025-03-07 16:10
プローブ後方反射法を利用したミリ波帯における線路Q値の評価 ○坂巻 亮(産総研) MW2024-196 |
| 抄録 |
(和) |
本稿においては、プローブ後方反射(PBR)法によるミリ波帯における線路特性の評価の実証について進捗状況を報告する。今回はPBR法とTRL法を用いてアルミナ基板上の線路Q値を導出した。TRL法はその評価精度が線路長によって大きく影響を受け、一方でPBR法は線路長依存性はほとんど見られなかった。2 mm長線路を用いたPBR法では、5 mm長を用いた時のTRL法の測定結果に近しい結果が得られた。 |
| (英) |
This paper reports the progress of evaluating transmission line characteristics in the millimeter-wave band using the Probe Backward Reflection (PBR) method. In this study, the Q-factor of a transmission line on an alumina substrate was derived using both the PBR method and the Transmission Line Resonator (TRL) method. The TRL method showed that its evaluation accuracy was significantly affected by the transmission line length, whereas the PBR method exhibited minimal dependence on the line length. Using a 2 mm long transmission line with the PBR method, results were obtained that were close to those measured using the TRL method with a 5 mm long line. |
| キーワード |
(和) |
ミリ波 / 材料計測 / オンウエハ測定 / マイクロ波 / テラヘルツ波 / 伝送線路 / Q値 / |
| (英) |
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| 文献情報 |
信学技報, vol. 124, no. 421, MW2024-196, pp. 152-153, 2025年3月. |
| 資料番号 |
MW2024-196 |
| 発行日 |
2025-02-27 (MW) |
| ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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