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| 講演名 | 2025-08-29 10:25 多段長周期回折格子を用いた外部共振器レーザの実現に向けたInP/Siチップ実装精度評価 ○鈴木純一・松浦雅広・高林正和・鈴木洋介・大畠伸夫（三菱電機）  R2025-25 EMD2025-16 CPM2025-29 OPE2025-66 LQE2025-21 |
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| 抄録 | （和） | 光デバイスへの高機能化への要求に伴い、InP素子とSi素子の融合が期待されている。本稿ではパッシブアライメント実装を用いたInP/Si外部共振器レーザを実現するため、多段長周期回折格子 (Multi-Step Long-Period Diffraction Grating; MSLP-DG) 構造をInP素子へ適用し、光モードフィールドの拡大を図った。この構造とSi素子上のグレーティングカプラによって光結合を実現するにあたり、2つの素子を段差サブマウント上に高精度に実装する必要があり、素子上のアライメントマークを読み取り実装実験を行った。実装誤差評価の結果、±3.5 µmに収まる高精度実装が実現され、それによって作製された外部共振器レーザにおいて初めての室温連続動作を確認した。 |
| （英） | With the growing demand for high-performance optical devices, the integration of InP and Si devices is gaining attention. In this paper, we realize an InP/Si external resonator laser using passive alignment implementation by applying a multi-step long-period diffraction grating (MSLP-DG) structure to an InP device to expand the optical mode field. To achieve optical coupling between this structure and the grating coupler on the Si device, it was necessary to precisely mount the two devices on a step submount. We performed mounting experiments with alignment mark reading, and evaluated mounting errors. The results showed that we achieved high-precision mounting within ±3.5 µm for the first time. Additionally, we confirmed room-temperature continuous operation in an external cavity laser fabricated using this method. | |
| キーワード | （和） | 外部共振器レーザ / グレーティングカプラ / 高精度実装 / / / / / |
| （英） | External resonator laser / Grating coupler / High-precision mounting / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 158, LQE2025-21, pp. 45-48, 2025年8月. | |
| 資料番号 | LQE2025-21 | |
| 発行日 | 2025-08-21 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | R2025-25 EMD2025-16 CPM2025-29 OPE2025-66 LQE2025-21 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | R CPM LQE OPE EMD |
| 開催期間 | 2025-08-28 - 2025-08-29 |
| 開催地（和） | 小樽商工会議所 |
| 開催地（英） | Otaru Chamber of Commerce & Industry |
| テーマ（和） | 受光素子，変調器，光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般 |
| テーマ（英） | Photodetectors, Modulators, Optical Electrical device packaging and reliability |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2025-08-R-CPM-LQE-OPE-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 多段長周期回折格子を用いた外部共振器レーザの実現に向けたInP/Siチップ実装精度評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of InP/Si Chip Bonding Accuracy for External Cavity Lasers with a Multi-Step Long-Period Diffraction Grating |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 外部共振器レーザ / External resonator laser |
| キーワード(2)（和/英） | グレーティングカプラ / Grating coupler |
| キーワード(3)（和/英） | 高精度実装 / High-precision mounting |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 純一 / Junichi Suzuki / スズキ ジュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 雅広 / Masahiro Matsuura / マツウラ マサヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高林 正和 / Masakazu Takabayashi / タカバヤシ マサカズ |
| 第3著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 洋介 / Yosuke Suzuki / スズキ ヨウスケ |
| 第4著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大畠 伸夫 / Nobuo Ohata / オオハタ ノブオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社 (略称： 三菱電機) Mitsubishi Electric Corporation (略称： Mitsubishi Electric) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-08-29 10:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | R2025-25, EMD2025-16, CPM2025-29, OPE2025-66, LQE2025-21 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.154(R), no.155(EMD), no.156(CPM), no.157(OPE), no.158(LQE) |
| ページ範囲 | pp.45-48 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-08-21 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
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