| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-10-22 15:10 RFスパッタ法によるMgZnO分極反転多層共振子の作製 ○LU QICHEN・島崎奈々・島野耀康・柳谷隆彦（早大）・高柳真司（同志社大）  US2025-37 |
|
| 抄録 | （和） | 分極反転多層構造は BAW(Bulk acoustic wave)デバイスの耐電力性を向上させる上で有望である．本研究では，RF マグネトロンスパッタ法により，as-grown 状態での MgZnO 薄膜の極性制御を試みた．基板の設置位置を放電領域の内外と使い分けることにより，酸素負イオンの照射量を調整し，O 極性および Zn 極性の薄膜を制御して成長させることに成功した．さらに圧電層間にアモルファス SiO₂ バッファ層を導入し，下地の影響の極性の影響をキャンセルし，四層の分極反転構造を実現した．四層分極反転 MgZnO HBAR(基板付き共振子) では，基本モードおよび低次モードの共振が強く抑制され，設計通り 4 次モードが明瞭に励振されることを実験的に確認した．理論変換損失曲線と実測曲線を比較し，MgZnO 膜の電気機械結合係数 kt2 を推定した結果，上層からそれぞれ，kt2=3.3%, 3.1%, 1.5%, 1.1%であった． |
| （英） | Polarization-inverted multilayer structures are promising for improving the power durability of bulk acoustic wave (BAW) filters. In this study, we investigated the polarity control of as-grown MgZnO thin films by RF magnetron sputtering. By controlling the substrate position to be inside or outside the discharge region, the amount of energetic oxygen negative ion bombardment was modulated. We found that this allows for the selective growth of O-polar and Zn-polar films. Furthermore, by introducing SiO₂ buffer layers between the piezoelectric layers to suppress the epitaxial effect from the underlayer, we successfully fabricated a four-layer polarization-inverted structure. The fabricated four-layer MgZnO HBAR (high-overtone bulk acoustic resonator) exhibited a strong suppression of the fundamental and lower-order modes, while a clear excitation of the 4th overtone mode was experimentally confirmed. | |
| キーワード | （和） | BAW 共振子 / 薄膜共振子 / MgZnO / 分極反転多層 / 高次モード / / / |
| （英） | BAW resonator / HBAR / MgZnO / Polarization-inverted multilayer / Overtone mode / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 207, US2025-37, pp. 17-22, 2025年10月. | |
| 資料番号 | US2025-37 | |
| 発行日 | 2025-10-15 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2025-37 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2025-10-22 - 2025-10-22 |
| 開催地（和） | 東北大学 + オンライン開催 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 光音響，医用超音波，超音波一般 (共催：東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会，レーザー学会 光音響イメージング技術専門委員会) |
| テーマ（英） | Photoacoustics, Ultrasound in medicine, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2025-10-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | RFスパッタ法によるMgZnO分極反転多層共振子の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Polarization-Inverted Multilayered MgZnO Resonators |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | BAW 共振子 / BAW resonator |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜共振子 / HBAR |
| キーワード(3)（和/英） | MgZnO / MgZnO |
| キーワード(4)（和/英） | 分極反転多層 / Polarization-inverted multilayer |
| キーワード(5)（和/英） | 高次モード / Overtone mode |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | LU QICHEN / Qichen Lu / リク キシン |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島崎 奈々 / Nana Shimazaki / シマザキ ナナ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 島野 耀康 / Yohkoh Shimano / シマノ ヨウコウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / タカヤナギ シンジ |
| 第5著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-10-22 15:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2025-37 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.207 |
| ページ範囲 | pp.17-22 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2025-10-15 (US) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]