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講演抄録/キーワード
講演名 2025-11-07 14:20
エアブリッジKIDsの作製とそのアルファ線応答
大石慶人五十嵐洋介成瀬雅人明連広昭埼玉大SCE2025-6
抄録 (和) ダークマターの直接観測を目指し,力学インダクタンス検出器(Kinetic Inductance Detector)の高性能化を検討した.本研究では,エネルギー分解能に大きな影響を与える準粒子寿命を延長するため,検出器のインダクタ部を橋状に加工して基板から浮かせたエアブリッジ構造を導入した.超伝導ニオブの薄膜応力に着目し,スパッタ成膜条件を変化させてエアブリッジの作製条件を比較した結果,軽い圧縮応力下で高い歩留まりを達成した.さらに,作製したデバイスにα線を照射して得たエネルギー分解能について議論する. 
(英) We have investigated performance improvements of Kinetic Inductance Detectors (KIDs) aimed at the direct detection of dark matter. In this study, we introduced an air-bridge structure by suspending the inductor part of the detector from the substrate in order to extend the quasiparticle lifetime, which strongly affects the energy resolution. Focusing on the film stress of superconducting niobium, we compared fabrication conditions by varying the sputtering parameters, and achieved a high fabrication yield under slight compressive stress. Furthermore, we discuss the energy resolution obtained by irradiating the fabricated devices with alpha particles.
キーワード (和) LeKID / エアブリッジ / 準粒子寿命 / 放射線検出器 / / / /  
(英) LeKID / air bridge / quasiparticle lifetime / radiation detector / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 125, no. 231, SCE2025-6, pp. 1-5, 2025年11月.
資料番号 SCE2025-6 
発行日 2025-10-31 (SCE) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SCE2025-6

研究会情報
研究会 SCE  
開催期間 2025-11-07 - 2025-11-07 
開催地(和) 東北大学 電気通信研究所 
開催地(英) RIEC, Tohoku Univ. 
テーマ(和) 超伝導エレクトロニクス一般 
テーマ(英) Superconducting Electronics 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SCE 
会議コード 2025-11-SCE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) エアブリッジKIDsの作製とそのアルファ線応答 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication and Alpha-Particle Response of Air-Bridge KIDs 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) LeKID / LeKID  
キーワード(2)(和/英) エアブリッジ / air bridge  
キーワード(3)(和/英) 準粒子寿命 / quasiparticle lifetime  
キーワード(4)(和/英) 放射線検出器 / radiation detector  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 大石 慶人 / Keito Oishi / オオイシ ケイト
第1著者 所属(和/英) 埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 五十嵐 洋介 / Yosuke Igarashi / イガラシ ヨウスケ
第2著者 所属(和/英) 埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 成瀬 雅人 / Masato Naruse / ナルセ マサト
第3著者 所属(和/英) 埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 明連 広昭 / Hiroaki Myoren / ミョウレン ヒロアキ
第4著者 所属(和/英) 埼玉大学 (略称: 埼玉大)
Saitama University (略称: Saitama Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2025-11-07 14:20:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 SCE 
資料番号 SCE2025-6 
巻番号(vol) vol.125 
号番号(no) no.231 
ページ範囲 pp.1-5 
ページ数
発行日 2025-10-31 (SCE) 


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