| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-11-13 16:05 ［招待講演］3次元方向のスケーリングに耐えるGAAコンパクトモデルの開発と検証 ○神澤雅俊（信州大）・三浦道子・菊地原秀行・飯塚貴弘（広島大）・上口 光（信州大）  SDM2025-59 |
|
| 抄録 | （和） | 本研究では，3次元方向のサイズ依存性を考慮した回路シミュレーションモデルHiSIM_GAA（Gate-All-Around）を用いたスケーリング予測の精度を，しきい値電圧{/it V}_{th}の解析によって評価した．モデルは表面のみならず３方向のポテンシャル分布そのものを正確に記述することに注力し，これによって誘起される３方向の電界集中の和が{/it V}_{th}として観測されることを確認した．今回のターゲットデバイスサイズは膜厚{/it T}_{Si} = 5 nmとし，この世代で明らかな膜内全体のポテンシャル分布から誘起されるキャリアの積分によって{/it V}_{th}を計算した．HiSIM_GAAから計算される{/it V}_{th}はポ３次元デバイスシミュレーション結果と比較して{/it T}_{Si} = 5 nmまでは正確に再現していることを確認した．３方向のスケーリングで{/it V}_{th}に大きく影響するのが，チャネル長で，続いて{/it T}_{Si}の短縮，最後にチャネル幅{/it W}ということが分かった．しかし{/it W}の縮小はむしろ{/it V}_{th}の増加を招き，{/it L}の縮小を補うということが分かった． |
| （英） | ||
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 246, SDM2025-59, pp. 23-27, 2025年11月. | |
| 資料番号 | SDM2025-59 | |
| 発行日 | 2025-11-06 (SDM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2025-59 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2025-11-13 - 2025-11-14 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 5階 5S-2 会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit simulation, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2025-11-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 3次元方向のスケーリングに耐えるGAAコンパクトモデルの開発と検証 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 神澤 雅俊 / / カンザワ マサトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) (略称： ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 道子 / / |
| 第2著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) (略称： ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊地原 秀行 / / |
| 第3著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) (略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 飯塚 貴弘 / / |
| 第4著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) (略称： ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上口 光 / / |
| 第5著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-11-13 16:05:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2025-59 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.246 |
| ページ範囲 | pp.23-27 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2025-11-06 (SDM) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]