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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-11-20 13:15 表面活性化接合とドライエッチングを用いたダイヤモンド基板上GaNメサ構造の絶縁特性 ○砂本陽成（阪公立大）・末光哲也（東北大）・嶋岡毅紘・山田英明（産総研）・梁 剣波・重川直輝（阪公立大）  ED2025-26 CPM2025-54 LQE2025-50 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 257, ED2025-26, pp. 13-16, 2025年11月. | |
| 資料番号 | ED2025-26 | |
| 発行日 | 2025-11-13 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2025-26 CPM2025-54 LQE2025-50 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM ED LQE |
| 開催期間 | 2025-11-20 - 2025-11-21 |
| 開催地（和） | 天文館ビジョンホール |
| 開催地（英） | TENMONKAN VISION HALL |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス・材料，関連技術，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2025-11-CPM-ED-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 表面活性化接合とドライエッチングを用いたダイヤモンド基板上GaNメサ構造の絶縁特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Isolation Characteristics of GaN Mesas on Diamond Substrates Fabricated Using the Surface-Activated Bonding and Dry Etching |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 砂本 陽成 / Yosei Sunamoto / スナモト ヨウセイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪公立大学 (略称： 阪公立大) Osaka Metropolitan University (略称： Osaka Metropolitan Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 末光 哲也 / Tetsuya Suemitsu / スエミツ テツヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 嶋岡 毅紘 / Takeshiro Shimaoka / シマオカ タケシロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山田 英明 / Hideaki Yamada / ヤマダ ヒデアキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 梁 剣波 / Jianbo Liang / リョウ ケンボ |
| 第5著者 所属（和/英） | 大阪公立大学 (略称： 阪公立大) Osaka Metropolitan University (略称： Osaka Metropolitan Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 重川 直輝 / Naoteru Shigekawa / シゲカワ ナオテル |
| 第6著者 所属（和/英） | 大阪公立大学 (略称： 阪公立大) Osaka Metropolitan University (略称： Osaka Metropolitan Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-11-20 13:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2025-26, CPM2025-54, LQE2025-50 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.257(ED), no.258(CPM), no.259(LQE) |
| ページ範囲 | pp.13-16 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-11-13 (ED, CPM, LQE) |
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