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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-12-19 12:30 Ca3TaGa3Si2O14を用いた異種材料接合構造上のSAW伝搬特性の解析 ○小林祐哉・鈴木雅視・垣尾省司（山梨大）・木村悟利（Piezo Studio）  US2025-50 |
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| 抄録 | （和） | Al-IDT/128°YX-LiNbO_3(LN)/CTGS(0°,θ , 0°)接合構造上のレイリー型SAW(R-SAW)について理論的に検討した．CTGSのカット角を最適化し，2.9%の実効的電気機械結合係数(K^2_{eff})とゼロ周波数温度係数(TCF)が得られた．また，CTGS(0°,θ, 0°)と高音速支持基板との接合構造上のリーキーSAW(LSAW)について理論的，実験的に検討した．特にCTGS/LN接合構造に着目した．CTGSはLNよりも速度が遅いため，LNを支持基板とすればLSAWの低損失化が期待できる．さらにCTGSのLSAWは正のTCFを有し，負のTCFを持つLNを支持基板とすれば良好な温度特性も期待できる．CTGS/LN構造上のLSAWについて理論解析，実験を行い，高いQ値かつ良好なTCFが得られることを明らかにした． |
| （英） | A theoretical study was conducted on Rayleigh-type surface acoustic waves (R-SAWs) in an Al-IDT/128°YX-LiNbO_3(LN)/CTGS(0°,θ , 0°) bonded structure. Optimizing the CTGS cut angle yielded an effective electromechanical coupling factor (K^2_{eff}) of 2.9% and a zero temperature coefficient of frequency (TCF). Theoretical and experimental investigations were also conducted on leaky surface acoustic waves (LSAWs) in a CTGS (0°,θ , 0°) bonded structure with a high-velocity substrate. Focus was placed on the CTGS/LN bonding structure. As CTGS has a lower phase velocity than LN, using LN as the substrate is expected to reduce LSAW losses. Furthermore, as CTGS exhibit positive TCF for LSAWs, using LN, which has negative TCF, as the substrate could also yield favorable TCF. Theoretical analysis and experiments on CTGS/LN LSAW demonstrated the potential for achieving high Q factors and favorable TCF. | |
| キーワード | （和） | 異種材料接合 / レイリー型SAW / リーキーSAW / CTGS / TCF / / / |
| （英） | Bonding dissimilar material / R-SAW / LSAW / CTGS / TCF / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 299, US2025-50, pp. 52-57, 2025年12月. | |
| 資料番号 | US2025-50 | |
| 発行日 | 2025-12-11 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2025-50 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US |
| 開催期間 | 2025-12-18 - 2025-12-19 |
| 開催地（和） | 崇城大学 池田キャンパス |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ＜音響・超音波サブソサイエティ合同研究会＞ 応用／電気音響，超音波一般 |
| テーマ（英） | [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2025-12-EA-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Ca3TaGa3Si2O14を用いた異種材料接合構造上のSAW伝搬特性の解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of SAW Propagation Properties on Dissimilar Material Bonded Structures Using Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄ |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 異種材料接合 / Bonding dissimilar material |
| キーワード(2)（和/英） | レイリー型SAW / R-SAW |
| キーワード(3)（和/英） | リーキーSAW / LSAW |
| キーワード(4)（和/英） | CTGS / CTGS |
| キーワード(5)（和/英） | TCF / TCF |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 祐哉 / Yuya Kobayashi / コバヤシ ユウヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki / スズキ マサシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木村 悟利 / Noritoshi Kimura / キムラ ノリトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | Piezo Studio (略称： Piezo Studio) Piezo Studio Inc. (略称： Piezo Studio Inc.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-12-19 12:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2025-50 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.299 |
| ページ範囲 | pp.52-57 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2025-12-11 (US) |
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