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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-12-19 13:20 周期的空隙を有する圧電基板上の擬似板波共振特性 ○小林駿平・鈴木雅視・垣尾省司（山梨大）  US2025-52 |
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| 抄録 | （和） | 本研究では，LiNbO3(LN)薄板と周期的空隙を有する水晶(Qz)，炭化ケイ素(SiC)支持基板の接合構造を用いて擬似板波共振子を作製し，その共振特性を評価した．検討した伝搬モードは，15°YX-LN/AT90°X-Qz接合試料上のSH0モード板波と120°YX-LN/4H-SiC接合試料上のA1モードラム波である．反応性イオンエッチングを用いて支持基板表面に周期的凹形状を形成し，原子拡散接合法を用いてLNウエハと支持基板を接合した．共振特性を測定した結果，擬似SH0モード板波は215 MHzで約4300 m/sの位相速度，17.7%の広い比帯域幅を示し，擬似A1モードラム波は880 MHzで約17600 m/sの高速な位相速度，10.1%の比帯域幅を示した． |
| （英） | In this study, we fabricated and evaluated pseudo plate wave resonators based on bonded structures comprising a LiNbO3 (LN) thin plate and a quartz (Qz) support substrate with periodic voids, as well as a silicon carbide (SiC) support substrate. The investigated propagation modes were an SH0-mode plate wave on a 15°Y-cut X-propagating (15°YX-) LN/AT90°X-Qz and an A1-mode Lamb wave on 120°YX-LN/4H-SiC. Periodic grooves with a period of 10 um were formed on the surface of the support substrate by reactive ion etching, and the LN wafer was bonded to the support substrate using atomic diffusion bonding. The results of the experimental evaluation showed that a pseudo SH0-mode plate wave exhibited a phase velocity of approximately 4300 m/s and a fractional bandwidth of 17.7% at 215 MHz, while a pseudo A1-mode Lamb wave exhibited a phase velocity of approximately 17600 m/s and a fractional bandwidth of 10.1% at 880 MHz. | |
| キーワード | （和） | 板波 / SH0モード板波 / A1モードラム波 / 炭化ケイ素 / / / / |
| （英） | Plate wave / SH0-mode plate wave / A1-mode Lamb wave / SiC / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 299, US2025-52, pp. 62-65, 2025年12月. | |
| 資料番号 | US2025-52 | |
| 発行日 | 2025-12-11 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2025-52 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA US |
| 開催期間 | 2025-12-18 - 2025-12-19 |
| 開催地（和） | 崇城大学 池田キャンパス |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ＜音響・超音波サブソサイエティ合同研究会＞ 応用／電気音響，超音波一般 |
| テーマ（英） | [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2025-12-EA-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 周期的空隙を有する圧電基板上の擬似板波共振特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Resonance Properties of Pseudo Plate Waves on Piezoelectric Substrates with Periodic Voids |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 板波 / Plate wave |
| キーワード(2)（和/英） | SH0モード板波 / SH0-mode plate wave |
| キーワード(3)（和/英） | A1モードラム波 / A1-mode Lamb wave |
| キーワード(4)（和/英） | 炭化ケイ素 / SiC |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 駿平 / Shumpei Kobayashi / コバヤシ シュンペイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki / スズキ マサシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-12-19 13:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2025-52 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.299 |
| ページ範囲 | pp.62-65 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-12-11 (US) |
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