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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-12-27 11:35 モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるTi基板へのボロンドープダイヤモンドの合成 ○伊豆優汰・坂本幸弘（千葉工大）  OME2025-51 |
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| 抄録 | （和） | Ti基板上にBDDを合成したBDD/Ti電極は、両方の材料の利点を併せ持つため廃水処理への応用が期待されている.しかし、BDDとTi基板間の中間層で剥離が生じる.Ti基板とボロンドープダイヤモンドの密着性改善のためホウ素系プラズマ処理を施したTi基板にボロンドープダイヤモンド合成を行なった。その結果、Ti基板表面にTi-B結合が導入され、ロックウェル硬さ試験機を用いた密着性評価では、前処理無しのものと比較して密着性の改善が認められた. |
| （英） | BDD/Ti electrodes synthesized by depositing BDD on a Ti substrate are expected to be applied to wastewater treatment because they combine the advantages of both materials. However, delamination occurs in the intermediate layer between the BDD and the Ti substrate. To improve the adhesion between the Ti substrate and boron-doped diamond, boron-based plasma treatment was applied to the Ti substrate before synthesizing boron-doped diamond. As a result, Ti-B bonds were introduced onto the Ti substrate surface. Adhesion evaluation using a Rockwell hardness tester showed improved adhesion compared to substrates without pretreatment. | |
| キーワード | （和） | CVD / ボロンドープダイヤモンド / ダイヤモンド電極 / Ti基板 / / / / |
| （英） | CVD / B-doped diamond / Diamonds Electrode / Ti substrate / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 309, OME2025-51, pp. 48-51, 2025年12月. | |
| 資料番号 | OME2025-51 | |
| 発行日 | 2025-12-19 (OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2025-51 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2025-12-26 - 2025-12-27 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | OKINAWAKEN SEINENKAIKAN |
| テーマ（和） | バイオテクノロジー、表面界面、計測技術、エレクトロニクス、その他 |
| テーマ（英） | biotechnology, surface and interfacial phenomena, measurement technology, electronics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2025-12-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | モード変換型マイクロ波プラズマCVDによるTi基板へのボロンドープダイヤモンドの合成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Synthesis of B-doped diamond on Ti substrates using mode conversion-type microwave plasma CVD |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | CVD / CVD |
| キーワード(2)（和/英） | ボロンドープダイヤモンド / B-doped diamond |
| キーワード(3)（和/英） | ダイヤモンド電極 / Diamonds Electrode |
| キーワード(4)（和/英） | Ti基板 / Ti substrate |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊豆 優汰 / Yuta Izu / イズ ユウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 千葉工業大学大学院 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： CIT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂本 幸弘 / Yukihiro Sakamoto / |
| 第2著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： CIT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-12-27 11:35:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2025-51 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.309 |
| ページ範囲 | pp.48-51 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-12-19 (OME) |
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