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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-01-23 14:25 MEMS技術による小型・狭帯域40GHzバンドパスフィルタ ○竹本清華（鳥取大）・西野 有（東北大）・明石巧人・冨井拓海・松永忠雄・李 相錫（鳥取大）  ED2025-81 MW2025-192 |
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| 抄録 | （和） | ミリ波帯はBeyond 5G通信システムの周波数として注目を集めており，その中でもQ帯およびV帯が有力な候補として世界的に検討されている．我々は，Beyond 5G 衛星通信ネットワークの実現に向けて，デジタルビームフォーミング技術に基づく送受信モジュールの開発を進めている．本稿では，MEMS技術を用いたコンパクトなミリ波バンドパスフィルタ（BPF）のためのシールド構造を提案する．本構造は，放射に関する問題と小型化の課題を同時に解決するものであり，Si基板上に形成したAuナノ粒子によるシールド壁と，その上部に配置した Au 成膜セラミックカバーを特徴としている．その有効性を示すため，40GHz BPFを設計し，シミュレーションを行った結果について報告する． |
| （英） | Millimeter-wave bands have been attracting attention as frequencies for beyond 5G communication system. As valid frequencies in millimeter-wave bands for beyond 5G communication system, Q- and V-bands are considered world widely. We are developing a transceiver module based on digital beam forming technology to establish beyond 5G satellite communication network. In this paper, we propose a shield structure for compact millimeter-wave filters utilizing micromachine technology. This structure solves both high-frequency radiation problems and miniaturization issues. It employs a shield wall made of Au nanoparticles formed on a silicon substrate and Au-deposited ceramic cover on top of it. To demonstrate its effectiveness, we designed a Q-band filter and performed simulations. | |
| キーワード | （和） | BPF / マイクロマシン技術 / ミリ波 / / / / / |
| （英） | BPF / micromachine technology / millimeter-wave / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 327, MW2025-192, pp. 86-89, 2026年1月. | |
| 資料番号 | MW2025-192 | |
| 発行日 | 2026-01-15 (ED, MW) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2025-81 MW2025-192 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED MW |
| 開催期間 | 2026-01-22 - 2026-01-23 |
| 開催地（和） | 藤沢商工会議所（303会議室） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 化合物半導体ICおよび超高速・超高周波デバイス／マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2026-01-ED-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | MEMS技術による小型・狭帯域40GHzバンドパスフィルタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MEMS-based compact narrow pass band 40GHz BPF |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | BPF / BPF |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロマシン技術 / micromachine technology |
| キーワード(3)（和/英） | ミリ波 / millimeter-wave |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹本 清華 / Kiyoka Takemoto / タケモト キヨカ |
| 第1著者 所属（和/英） | 鳥取大学 (略称： 鳥取大) Tottori University (略称： Tottori Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西野 有 / Tamotsu Nishino / ニシノ タモツ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 明石 巧人 / Takuto Akashi / タクト アカシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 鳥取大学 (略称： 鳥取大) Tottori University (略称： Tottori Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 冨井 拓海 / Takumi Tomii / トミイ タクミ |
| 第4著者 所属（和/英） | 鳥取大学 (略称： 鳥取大) Tottori University (略称： Tottori Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松永 忠雄 / Tadao Matsunaga / マツナガ タダオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 鳥取大学 (略称： 鳥取大) Tottori University (略称： Tottori Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 李 相錫 / Sang-Seok Lee / リ サンソク |
| 第6著者 所属（和/英） | 鳥取大学 (略称： 鳥取大) Tottori University (略称： Tottori Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-01-23 14:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | ED2025-81, MW2025-192 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.326(ED), no.327(MW) |
| ページ範囲 | pp.86-89 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2026-01-15 (ED, MW) |
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