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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-06-02 10:35 ロットごとのウェハマップの重ね合わせによる欠陥パターンの顕在化とその分類 ○中村陸人・永村美一（都立大）・新井雅之（日大）・福本 聡（都立大）  CPSY2026-7 DC2026-7 RECONF2026-7 |
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| 抄録 | （和） | 従来のウェハマップ欠陥分類手法は単一ウェハマップを対象としている．しかし，分類で重要となるシステマチック欠陥は製造ロット単位で発生する可能性がある．著者らの知る限り，これまでにそのような欠陥を高精度かつ効率的に検出・分類する手法は見当たらない．本研究では，ロット単位のウェハマップ重ね合わせによる潜在的な欠陥情報の抽出手法を提案する．重ね合わせによって，ノイズに埋もれていた異常を可視化し，新たな欠陥パターンを発見した．さらに，重ね合わせマップ特有の欠陥パターンを高い精度で分類・検知することを目標とし，本稿ではその第一歩として，空間認識に優れる CapsNet を用いた実験結果について報告する． |
| （英） | ||
| キーワード | （和） | ウェハマップ / ロット / 重ね合わせ / CapsNet / 画像分類 / 異常検知 / 半導体 / AI |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 50, DC2026-7, pp. 33-37, 2026年6月. | |
| 資料番号 | DC2026-7 | |
| 発行日 | 2026-05-25 (CPSY, DC, RECONF) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPSY2026-7 DC2026-7 RECONF2026-7 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPSY DC RECONF IPSJ-ARC |
| 開催期間 | 2026-06-01 - 2026-06-03 |
| 開催地（和） | 秋保リゾートホテルクレセント |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 【HotSPA2026】 アーキテクチャ，コンピュータシステム，ディペンダブルコンピューティング， リコンフィギャラブルシステム，および一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | DC |
| 会議コード | 2026-06-CPSY-DC-RECONF-ARC |
| 本文の言語 | 日本語（英語タイトルなし） |
| タイトル（和） | ロットごとのウェハマップの重ね合わせによる欠陥パターンの顕在化とその分類 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ウェハマップ / |
| キーワード(2)（和/英） | ロット / |
| キーワード(3)（和/英） | 重ね合わせ / |
| キーワード(4)（和/英） | CapsNet / |
| キーワード(5)（和/英） | 画像分類 / |
| キーワード(6)（和/英） | 異常検知 / |
| キーワード(7)（和/英） | 半導体 / |
| キーワード(8)（和/英） | AI / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 陸人 / / ナカムラ リクト |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京都立大学 (略称： 都立大) (略称： ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永村 美一 / / ナガムラ ヨシカズ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京都立大学 (略称： 都立大) (略称： ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新井 雅之 / / アライ マサユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本大学 (略称： 日大) (略称： ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福本 聡 / / フクモト サトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京都立大学 (略称： 都立大) (略称： ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-06-02 10:35:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | DC |
| 資料番号 | CPSY2026-7, DC2026-7, RECONF2026-7 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.49(CPSY), no.50(DC), no.51(RECONF) |
| ページ範囲 | pp.33-37 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2026-05-25 (CPSY, DC, RECONF) |
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