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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-06-11 13:30 10 GHz動作・2次モード分極反転ScAlN/SiAlN膜BAW共振子 ○本多洋大・鈴木雅視・垣尾省司（山梨大）  US2026-10 |
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| 抄録 | （和） | 次世代の高速通信に向けて，高周波動作かつ機械的強度の確保を可能とする分極反転SMR型BAW共振子が注目されている．本研究では，Masonの等価回路モデルによるScAlN膜とSiAlN膜を用いた10 GHz動作分極反転SMR型BAW共振子の設計，および2層分極反転SiAlN/ScAlN, ScAlN/SiAlN膜SMR型BAW共振子の形成，評価を行った．解析により3層分極反転ScAlN/SiAlN/ScAlN膜SMR型BAW共振子が結合係数と膜厚のバランスが最適であることがわかった．形成した2層分極反転ScAlN/SiAlN, SiAlN/ScAlN膜BAW共振子において11 GHz付近での2次モード共振を達成した．また同周波数帯で動作する単層共振子よりも大きな体積を確保できた． |
| （英） | For next-generation communications, polarity-inverted SMR-type BAW resonators are attracting attention due to their high-frequency operation and mechanical strength. In this study, we designed 10 GHz polarity-inverted SMR-type SiAlN, ScAlN BAW resonators by using Mason’s equivalent circuit model. Also, we fabricated and evaluated two-layer polarity-inverted ScAlN/SiAlN and SiAlN/ScAlN resonators. Analysis revealed that a three-layer polarity-inverted ScAlN/SiAlN/ScAlN film offers the optimal balance between coupling coefficient and film thickness. The two-layer resonators achieved second-order mode resonance around 11 GHz and had a larger volume than single-layer resonators operating at the same frequency band. | |
| キーワード | （和） | BAW / SMR / 分極反転構造 / 10 GHz / ScAlN / SiAlN / / |
| （英） | BAW / SMR / Polarity-inverted / 10 GHz / ScAlN / SiAlN / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 67, US2026-10, pp. 1-5, 2026年6月. | |
| 資料番号 | US2026-10 | |
| 発行日 | 2026-06-04 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2026-10 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2026-06-11 - 2026-06-11 |
| 開催地（和） | しいのき迎賓館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 医用超音波，超音波一般 （共催：日本超音波医学会基礎技術研究会, 日本音響学会北陸支部） |
| テーマ（英） | Ultrasound in medicine, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2026-06-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 10 GHz動作・2次モード分極反転ScAlN/SiAlN膜BAW共振子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Second-overtone Mode Polarity-inverted ScAlN/SiAlN Film BAW Resonators Operating at 10 GHz |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | BAW / BAW |
| キーワード(2)（和/英） | SMR / SMR |
| キーワード(3)（和/英） | 分極反転構造 / Polarity-inverted |
| キーワード(4)（和/英） | 10 GHz / 10 GHz |
| キーワード(5)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(6)（和/英） | SiAlN / SiAlN |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本多 洋大 / Hiroto Honda / ホンダ ヒロト |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki / スズキ マサシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. Yamanashi) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-06-11 13:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2026-10 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.67 |
| ページ範囲 | pp.1-5 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2026-06-04 (US) |
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