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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-08-27 15:45 ZnOもしくはMgO犠牲層エッチングを用いたScAlNおよびKNNエピ薄膜共振子 ○鈴木菜々海・下山 航・柳谷隆彦（早大）  US2026-46 |
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| 抄録 | （和） | (開催日以降に掲載されます) |
| （英） | (Available after conference date) | |
| キーワード | （和） | ScAlN / KNN / 分極反転 / FBAR / エピタキシャル成長 / 抗電界 / / |
| （英） | ScAlN / KNN / polarization inversion / FBAR / epitaxial / coercive field / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 156, US2026-46, pp. 25-30, 2026年8月. | |
| 資料番号 | US2026-46 | |
| 発行日 | 2026-08-20 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2026-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2026-08-27 - 2026-08-27 |
| 開催地（和） | 東京科学大学 大岡山キャンパス 西9号館 |
| 開催地（英） | Inst. of Science Tokyo (West Bldg.9, Ookayama Campus) |
| テーマ（和） | 水中音響, 超音波一般 （共催：海洋音響学会） |
| テーマ（英） | Underwater acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2026-08-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ZnOもしくはMgO犠牲層エッチングを用いたScAlNおよびKNNエピ薄膜共振子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | ScAlN and epitaxial KNN thin film resonators using ZnO and MgO sacrificial layer etching |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(2)（和/英） | KNN / KNN |
| キーワード(3)（和/英） | 分極反転 / polarization inversion |
| キーワード(4)（和/英） | FBAR / FBAR |
| キーワード(5)（和/英） | エピタキシャル成長 / epitaxial |
| キーワード(6)（和/英） | 抗電界 / coercive field |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 菜々海 / Nanami Suzuki / スズキ ナナミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 航 / Wataru Shimoyama / シモヤマ ワタル |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-08-27 15:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2026-46 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.156 |
| ページ範囲 | pp.25-30 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2026-08-20 (US) |
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