| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-10-21 11:00 GHz帯パルスエコー法による減衰測定を用いたバルク単結晶基板の機械的品質係数Qm評価および薄膜材料との比較 ○味田ここの・柳谷隆彦（早大）  US2026-52 |
|
| 抄録 | （和） | SAW フィルタや BAW フィルタでは、構成する材料の機械的品質係数 Qm値が高いほど、急峻性や挿入損失の特性は良くなる．弾性波フィルタの特性を予測するためには、それに用いられる金属、圧電体、基板の材料固有の Qm値が必要だが、文献値が不足している．本研究では、水カプラを用いずバルク単結晶基板の減衰定数α/f^2 を推定し Qm値を評価する手法として、被測定バルク基板に直接トランスデューサを作製する方法と Au-Au 接合を用いる方法の 2 つを提案する．Mason 等価回路モデルを用いて本手法の妥当性を検証し、回折損失が与える影響についても理論計算により調べた．様々なバルク単結晶基板の Qm 値を評価し、薄膜の Qm 値と比較した．その結果、エピタキシャル成長した薄膜であっても、バルク単結晶基板の方が薄膜よりも Qm値が高い傾向にあることがわかった． |
| （英） | The intrinsic mechanical quality factor Qm of materials critically affects the Q factor of SAW and BAW resonators. The problem is that the number of material property databases for Qm remains insufficient. In this study, Qm of the bulk crystal specimens was evaluated without using a water coupler by fabricating the thin film transducer directly on the bulk crystal plate or using an Au-Au bonding technique. Measurement accuracy was determined by Mason’s model simulation. In addition, the diffraction effect was theoretically investigated. The Qm of various bulk plates was evaluated experimentally and compared with thin film. Qm of bulk crystal plates tends to be higher than that of thin films, even though the thin films were epitaxially grown. | |
| キーワード | （和） | 機械的品質係数 / Qm / 減衰 / バルク単結晶基板 / 薄膜 / / / |
| （英） | Mechanical quality factor / Qm / Attenuation / Bulk crystal plate / Thin film / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 203, US2026-52, pp. 22-27, 2026年10月. | |
| 資料番号 | US2026-52 | |
| 発行日 | 2026-10-14 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2026-52 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2026-10-21 - 2026-10-21 |
| 開催地（和） | 東北大学 青葉山キャンパス 復興記念教育研究未来館 復興記念ホール+ オンライン開催 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. & Online |
| テーマ（和） | 光音響，医用超音波，超音波一般 (共催：東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会，レーザー学会 光音響イメージング技術専門委員会) |
| テーマ（英） | Photoacoustics, Ultrasound in medicine, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2026-10-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GHz帯パルスエコー法による減衰測定を用いたバルク単結晶基板の機械的品質係数Qm評価および薄膜材料との比較 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of the mechanical Q factor of bulk crystal plates using attenuation estimation by GHz pulse-echo technique and comparison with thin films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 機械的品質係数 / Mechanical quality factor |
| キーワード(2)（和/英） | Qm / Qm |
| キーワード(3)（和/英） | 減衰 / Attenuation |
| キーワード(4)（和/英） | バルク単結晶基板 / Bulk crystal plate |
| キーワード(5)（和/英） | 薄膜 / Thin film |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 味田 ここの / Cocono Mita / ミタ ココノ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学/各務記念材料技術研究所 (略称： 早大) Waseda University/ZAIKEN (略称： Waseda Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-10-21 11:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2026-52 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.203 |
| ページ範囲 | pp.22-27 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2026-10-14 (US) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る] (日本語ページの行間係数: 1)