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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-10-22 15:40 磁気光学材料の堆積法によるSOI基板上の自己保持型磁気光学スイッチ作製 ○原 祐介・高木 岳・庄司雄哉（科学大）  OCS2026-33 OPE2026-76 LQE2026-35 |
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| 抄録 | （和） | 自己保持型磁気光学スイッチの実用性を検証するために，Ce:YIG/SGGG基板上に作製したデバイスを用いて，パルス電流印加により磁化反転を繰り返す書き換えサイクルの耐久性を測定した．その結果，1.89兆回に及ぶ書き込みサイクル後においても15 dB以上の消光比を維持することを確認し，長期的な耐久性を実証した．また，SOI基板上でのデバイス作製に向けて，磁気光学材料の成膜・結晶化工程の検討を実施した．シード層であるYIGをスパッタリングによって成膜し，-0.095 MPaの酸素環境下において800 ℃，2分間のRTAにより結晶化させ，Ce:YIGをエピタキシャル成長させることで，ファラデー回転3180 deg/cm，導波損失0.016 dB/µmの特性を得た．さらに，一方向磁界によって駆動するMZIを作製し，0.46 πの位相シフトと20 dBの消光比を達成した． |
| （英） | To verify the practicality of a latching magneto-optic switch, we evaluated the durability of rewrite cycles—involving repeated magnetization reversal via pulsed current—using a device fabricated on a Ce:YIG/SGGG substrate. The results confirmed that an extinction ratio of over 15 dB was maintained even after 1.89 trillion write cycles, thereby demonstrating long-term durability. Additionally, we investigated the deposition and crystallization processes for magneto-optic materials with the aim of fabricating devices on SOI substrates. By depositing a YIG seed layer via sputtering, crystallizing it through rapid thermal annealing (RTA) at 800°C for 2 minutes in an oxygen atmosphere (-0.095 MPa), and subsequently epitaxially growing Ce:YIG, we achieved a Faraday rotation of 3180 deg/cm and a waveguide loss of 0.016 dB/µm. Furthermore, we fabricated a Mach-Zehnder interferometer (MZI) driven by a unidirectional magnetic field, achieving a phase shift of 0.46π and an extinction ratio of 20 dB. | |
| キーワード | （和） | 光スイッチ / 磁気光学効果 / 自己保持動作 / / / / / |
| （英） | Optical switch / Magneto-optic effect / Self-holding operation / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 205, OPE2026-76, pp. 60-65, 2026年10月. | |
| 資料番号 | OPE2026-76 | |
| 発行日 | 2026-10-15 (OCS, OPE, LQE) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OCS2026-33 OPE2026-76 LQE2026-35 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE OCS LQE |
| 開催期間 | 2026-10-22 - 2026-10-23 |
| 開催地（和） | アマホームPLAZA |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光信号処理，光通信用新機能デバイス，光集積回路，光アクティブデバイス，光 パッシブデバイス，光モジュール・実装，光測定技術，光通信用LSI，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2026-10-OPE-OCS-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 磁気光学材料の堆積法によるSOI基板上の自己保持型磁気光学スイッチ作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Self-holding Optical Switch on SOI Substrates by Deposition of Magneto-Optic Material |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スイッチ / Optical switch |
| キーワード(2)（和/英） | 磁気光学効果 / Magneto-optic effect |
| キーワード(3)（和/英） | 自己保持動作 / Self-holding operation |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原 祐介 / Yusuke Hara / ハラ ユウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京科学大学 (略称： 科学大) Institute of Science Tokyo (略称： Science Tokyo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高木 岳 / Gaku Takagi / タカギ ガク |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京科学大学 (略称： 科学大) Institute of Science Tokyo (略称： Science Tokyo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 庄司 雄哉 / Yuya Syoji / ショウジ ユウヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京科学大学 (略称： 科学大) Institute of Science Tokyo (略称： Science Tokyo) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-10-22 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OCS2026-33, OPE2026-76, LQE2026-35 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.204(OCS), no.205(OPE), no.206(LQE) |
| ページ範囲 | pp.60-65 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2026-10-15 (OCS, OPE, LQE) |
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