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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2009-06-19
15:10
東京 東京大学(生産研An棟) 低しきい値pMISFETに向けたAl2O3を堆積させたHfO2ゲート絶縁膜のアニールプロセスの検討
諸岡 哲松木武雄三瀬信行神山 聡生田目俊秀栄森貴尚奈良安雄由上二郎池田和人大路 譲半導体先端テクノロジーズSDM2009-38
Al2O3/HfO2/SiON構造ゲート絶縁膜を形成するためのアニールプロセスとVfb, EOT及びVtバラツキとの関係... [more] SDM2009-38
pp.67-70
IE 2009-03-16
14:10
愛媛 テクノプラザ愛媛 半余弦関数ウェーブレットネットワークによる物体の大きさに注目した移動物体領域抽出
池田和敏神酒 勤九工大IE2008-259
物体の大きさの違いを利用して、特定の大きさの移動物体の領域を抽出する実用的な方法を提案する。本手法では、階層型の基底関数... [more] IE2008-259
pp.35-40
SDM 2006-06-22
10:30
広島 広島大学, 学士会館 角度分解光電子分光を用いたSiO2/SiN積層膜の窒素濃度分布の解析
豊田智史岡林 潤尾嶋正治東大)・劉 国林劉 紫園池田和人臼田宏治半導体理工学研究センター
酸窒化膜の窒素濃度分布および化学結合状態はトランジスタの特性および構造を理解するために重要である。角度分解光電子分光法は... [more] SDM2006-55
pp.77-80
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