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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
SDM 2023-11-09
14:00
東京 機械振興会館 5階 5S-2 会議室
(ハイブリッド開催,主:現地開催,副:オンライン開催)
[招待講演]半導体ナノシートにおける表面ラフネス散乱の量子論に基づく数値解析
岡田 丈田中 一森 伸也阪大SDM2023-65
単一モード半導体ナノシートにおいて,表面ラフネス散乱で決まる平均自由行程を数値計算により求める手法を提案する.平均自由行... [more] SDM2023-65
pp.10-15
EE 2005-05-13
15:10
東京 機械振興会館 瞬時電圧低下保護装置「サグプロテクタ」の開発
山田正樹岩田明彦岡田丈二畠山善博石井康裕三菱電機
半導体製造装置規格SEMI F47をクリアする小型軽量でメンテナンスフリーの新しい瞬時電圧低下保護装置「サグプロテクタ」... [more] EE2005-9
pp.47-52
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