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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| ED | 2023-12-08 10:50 |
愛知 | ウインクあいち（愛知県産業労働センター） | 実験データと数値シミュレーションを用いたショットキー放出電子源の平均輝度およびリチャードソン定数の推定 ○岡田風杜・小澤光貴・村田英一・田中崇之・六田英治（名城大）  ED2023-50 |
電子源の性能を示すパラメータとして最も重要なものの一つは、輝度（平均輝度）である。しかしながら、通常、平均輝度は、研究室... [more] | ED2023-50 pp.45-48 |
| ED | 2010-10-25 15:45 |
京都 | 宇治おうばくプラザ(京都大学） | マスク描画用高輝度高エミッタンス電子銃の開発 ○椿 大輔・村田英一・六田英治・下山 宏（名城大） ED2010-133 |
これまで、我々は、次世代の電子線露光装置用の電子銃の設計および開発を行ってきている。電子線露光装置では、高い電流密度の電... [more] | ED2010-133 pp.27-32 |
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