| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-04-21 13:25
MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器
○熊ヶ谷育生・木下暢人・小西 聡（立命館大）・佐野知己・片山 誠（住友電工） |
| 抄録 |
（和） |
次世代フォトニックネットワーク技術として期待されている波長多重（Wavelength Division Multiplex, WDM）伝送システムで用いられるエルビウム添加ファイバアンプ(Erbium-Doped Fiber Amplifier, EDFA)は不均一な利得特性を有する。この利得特性を均一化するために可変利得等化器(Dynamic Gain EQualizar, DGEQ)の利用が考えられている。本研究では高分解能、大変位、並列動作が可能なMEMSアクチュエータアレイを用いた機械式DGEQの研究を進めている。バッチプロセスによって製作した8本のスライダアレイ（単一スライダ幅600μｍ）の並列動作による、8チャネルの独立損失スペクトル制御について報告する。 |
| （英） |
This paper reports MEMS based mechanical dynamic gain equalizer (hereafter DGEQ) which is expected to equalize non-uniformities of spectral intensity in WDM transportation. Batch-fabricated multi sliders for DGEQ are presented as optical application of electrostatic controlled linear inchworm actuator (hereafter ECLIA). 8 multi sliders (600 μm wide) corresponding to 8 channels are fabricated by DRIE and bonded on a pyrex glass substrate for a reliable electrical isolation. Operating of developed multi sliders and their optical attenuation as DGEQ will be reported in succession to design and fabrication of device. |
| キーワード |
（和） |
ECLIA / 可変利得等化器 / スライダアレイ / 一括製作 / 並列動作 / 波長多重伝送システム / / |
| （英） |
ECLIA / DGEQ / Arrayed sliders / Batch fabrication / Parallel motion / WDM / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 19, OPE2006-2, pp. 7-12, 2006年4月. |
| 資料番号 |
OPE2006-2 |
| 発行日 |
2006-04-14 (R, CPM, OPE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
R CPM OPE |
| 開催期間 |
2006-04-21 - 2006-04-21 |
| 開催地（和） |
機械振興会館 |
| 開催地（英） |
Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） |
光部品の実装・信頼性、一般 |
| テーマ（英） |
Packaging and reliability of optical componetns, etc. |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
OPE |
| 会議コード |
2006-04-R-CPM-OPE |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
MEMSアクチュエータアレイを用いた機械式光通信用可変利得等化器 |
| サブタイトル（和） |
|
| タイトル（英） |
Mechanical Dynamic Gain Equalizer using MEMS Actuator Array |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
ECLIA / ECLIA |
| キーワード(2)（和/英） |
可変利得等化器 / DGEQ |
| キーワード(3)（和/英） |
スライダアレイ / Arrayed sliders |
| キーワード(4)（和/英） |
一括製作 / Batch fabrication |
| キーワード(5)（和/英） |
並列動作 / Parallel motion |
| キーワード(6)（和/英） |
波長多重伝送システム / WDM |
| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
熊ヶ谷 育生 / Ikuo Kumagaya / クマガヤ イクオ |
| 第1著者 所属（和/英） |
立命館大学 (略称： 立命館大)
Ritsumeikan University (略称： Rits) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
木下 暢人 / Nobihito Kinoshita / キノシタ ノブヒト |
| 第2著者 所属（和/英） |
立命館大学 (略称： 立命館大)
Ritsumeikan University (略称： Rits) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
小西 聡 / Satoshi Konishi / コニシ サトシ |
| 第3著者 所属（和/英） |
立命館大学 (略称： 立命館大)
Ritsumeikan University (略称： Rits) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
佐野 知己 / Tomomi Sano / サノ トモミ |
| 第4著者 所属（和/英） |
住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
片山 誠 / Makoto Katayama / カタヤマ マコト |
| 第5著者 所属（和/英） |
住友電気工業株式会社 (略称： 住友電工)
Sumitomo Electric Industries, Ltd. (略称： SEI) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-04-21 13:25:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
OPE |
| 資料番号 |
R2006-2, CPM2006-2, OPE2006-2 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.17(R), no.18(CPM), no.19(OPE) |
| ページ範囲 |
pp.7-12 |
| ページ数 |
6 |
| 発行日 |
2006-04-14 (R, CPM, OPE) |
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