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講演抄録/キーワード
講演名 2006-05-18 13:50
Influence of Annealing Conditions on the Sensing Properties of Oxygen Gas Sensor with β-Ga2O3 Films Deposited by CSD Method for High Temperatures
Marilena BarticShizuoka Univ.)・Cristian-Ioan BabanAl. I. Cuza Univ.)・Masaaki IsaiMasami OgitaShizuoka Univ.
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文献情報 信学技報, vol. 106, no. 46, CPM2006-9, pp. 11-14, 2006年5月.
資料番号 CPM2006-9 
発行日 2006-05-11 (ED, CPM, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685
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研究会情報
研究会 ED CPM SDM  
開催期間 2006-05-18 - 2006-05-19 
開催地(和) 豊橋技術科学大学VBL 
開催地(英) VBL, Toyohashi University of Technology 
テーマ(和) 結晶成長評価及びデバイス(化合物、Si、SiGe、その他の電子材料) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2006-05-ED-CPM-SDM 
本文の言語 英語 
タイトル(和)  
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Influence of Annealing Conditions on the Sensing Properties of Oxygen Gas Sensor with β-Ga2O3 Films Deposited by CSD Method for High Temperatures 
サブタイトル(英)  
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) Marilena Bartic / Marilena Bartic / マリレナ バルティック
第1著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) Cristian-Ioan Baban / Cristian-Ioan Baban / クリスティアン イワン ババン
第2著者 所属(和/英) Al. I. Cuza University (略称: Al. I. Cuza Univ.)
Al. I. Cuza University (略称: Al. I. Cuza Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 以西 雅章 / Masaaki Isai / イサイ マサアキ
第3著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 荻田 正巳 / Masami Ogita / オギタ マサミ
第4著者 所属(和/英) 静岡大学 (略称: 静岡大)
Shizuoka University (略称: Shizuoka Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2006-05-18 13:50:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 ED2006-22, CPM2006-9, SDM2006-22 
巻番号(vol) vol.106 
号番号(no) no.45(ED), no.46(CPM), no.47(SDM) 
ページ範囲 pp.11-14 
ページ数
発行日 2006-05-11 (ED, CPM, SDM) 


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