| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-06-02 09:35
反射法と結像法の併用による表面凹凸のハイブリッド測定システム
○上月具挙・舒 芹（福井大）・當間安厚（北計工業）・菅 博（広島国際大）・石川和彦（福井高専）・桜井哲真・上田正紘（福井大） |
| 抄録 |
（和） |
鏡面試料の表面うねりと粗面試料の表面粗さの両方を測定し得る光学的システムを開発した。システムは測定試料からの反射光を用いた表面うねり測定部と，散乱光を用いた表面粗さ測定部を併用したハイブリッド構造となっている。本システムの表面うねり測定における解像度は1nｍ以下，測定周波数は２４Ｈｚ，表面粗さ測定における解像度は約2μm，測定レンジは±0.3mm，また測定周波数は100Hzである。 |
| （英） |
A hybrid system for measuring both surface undulation and surface roughness has been proposed by means of laser reflection and laser scattering. Two main subsystems are incorporated in a body; i.e., it is a hybrid system, with one subsystem based on a laser reflection and used for measuring a surface undulation on a mirror-like surface, and the other based on an imaging of the irradiated portion and used for a surface roughness on a rough surface. It was found that the subsystem for surface undulation has a spatial resolution of 1 nm with a measurement frequency of 24 Hz, and that the subsystem for roughness has a spatial resolution of 2μm with a measurement frequency of about 100 Hz. |
| キーワード |
（和） |
リアルタイム測定 / 表面うねり / 表面粗さ / 反射光 / 散乱光 / / / |
| （英） |
Real-time measurement / Surface undulation / Surface roughness / Laser reflection / Laser scattering / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 90, LQE2006-1, pp. 1-6, 2006年6月. |
| 資料番号 |
LQE2006-1 |
| 発行日 |
2006-05-26 (LQE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
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