| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-07-28 09:45
マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置のFDTD法解析
○三芦大樹・川口秀樹・古川雅一（室蘭工大） |
| 抄録 |
（和） |
半導体素子製造の新しい方法であるマイクロ波励起表面波プラズマプロセスでは、印加されるマイクロ波とプラズマの生成、性質についてはまだ完全には解明されておらず、またマイクロ波の波長が装置のサイズと同程度であるため、効率的なプラズマの発生には形状の最適化を要するという問題がある。そこで本研究では、FDTD法にプラズマの運動量輸送方程式を加えてプロセス中のマイクロ波の振舞い及びプラズマの性質を数値的に解析し、より効率的なプロセス装置の設計に役立てるための検討を行ったので報告する。 |
| （英） |
The Surface-wave enhanced plasma process is advanced method of semiconductor device fabrications. However, Relation between microwave and plasma properties in this process is not sufficiently understood, and microwave requires optimizing shape and size of the device, because wavelength is almost same size as the device. Beyond on these backgrounds, we consider effective design of the device based on numerical analysis of microwave behavior by FDTD method coupling with plasma equation. |
| キーワード |
（和） |
FDTD / 表面波プラズマ / プラズマ / マイクロ波 / / / / |
| （英） |
FDTD / surface-wave enhanced plasma / plasma / microwave / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, 2006年7月. |
| 資料番号 |
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| 発行日 |
2006-07-20 (MW, OPE) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
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| 研究会情報 |
| 研究会 |
MW OPE EMT |
| 開催期間 |
2006-07-27 - 2006-07-28 |
| 開催地（和） |
北見工大 |
| 開催地（英） |
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| テーマ（和） |
光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） |
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| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
EMT |
| 会議コード |
2006-07-MW-OPE-EMT |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置のFDTD法解析 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Numarical Analysis of Microwave Surface Plasma Processing by FDTD Method |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
FDTD / FDTD |
| キーワード(2)（和/英） |
表面波プラズマ / surface-wave enhanced plasma |
| キーワード(3)（和/英） |
プラズマ / plasma |
| キーワード(4)（和/英） |
マイクロ波 / microwave |
| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
三芦 大樹 / Taiki Miyoshi / ミヨシ タイキ |
| 第1著者 所属（和/英） |
室蘭工業大学 (略称： 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称： Muroran Inst. Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
川口 秀樹 / Hideki Kawaguchi / カワグチ ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） |
室蘭工業大学 (略称： 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称： Muroran Inst. Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
古川 雅一 / Masakazu Furukawa / フルカワ マサカズ |
| 第3著者 所属（和/英） |
室蘭工業大学 (略称： 室蘭工大)
Muroran Institute of Technology (略称： Muroran Inst. Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-07-28 09:45:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
EMT |
| 資料番号 |
MW2006-67, OPE2006-59 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.186(MW), no.187(OPE) |
| ページ範囲 |
pp.175-180 |
| ページ数 |
6 |
| 発行日 |
2006-07-20 (MW, OPE) |
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