| 研究会情報 |
| 研究会 |
CPM |
| 開催期間 |
2006-11-09 - 2006-11-10 |
| 開催地（和） |
金沢大学 |
| 開催地（英） |
Kanazawa Univ. |
| テーマ（和） |
薄膜プロセス・材料、一般 |
| テーマ（英） |
Process of Thin Film formation and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
CPM |
| 会議コード |
2006-11-CPM |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
酸素イオンのスパッタ照射による酸化物薄膜の作製装置 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
The practical sputtering system for oxide films by oxygen ion implantation |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
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| キーワード(2)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
千葉 忍 / Shinobu Chiba / チバ シノブ |
| 第1著者 所属（和/英） |
金沢大学/CBC株式会社 (略称： 金沢大/CBC)
Kanazawa University (略称： Kanazawa Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
佐々木 公洋 / Kimihiro Sasaki / ササキ キミヒロ |
| 第2著者 所属（和/英） |
金沢大学 (略称： 金沢大)
Kanazawa University (略称： Kanazawa Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
元木 詮 / Akira Motoki / モトキ アキラ |
| 第3著者 所属（和/英） |
CBC株式会社 (略称： CBC)
CBC Campany Limited (略称： CBC Co.,Ltd) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
畑 朋延 / Tomonobu Hata / ハタ トモノブ |
| 第4著者 所属（和/英） |
科学技術振興機構 研究成果育成プラザ石川 (略称： JST)
JST Innovation Plaza Ishikawa (略称： JST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
伊藤 昭彦 / Akihiko Ito / イトウ アキヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） |
芝浦メカトロニクス株式会社 (略称： 芝浦メカトロニクス)
SHIBAURA MECHATRONICS Cororation (略称： SHIBAURA MECHATRONICS Corp.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第11著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第12著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第13著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第14著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第15著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第16著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第17著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第18著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第20著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第21著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第23著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第24著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第25著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第25著者 所属（和/英） |
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| 第26著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第26著者 所属（和/英） |
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| 第27著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第28著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第28著者 所属（和/英） |
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| 第29著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第29著者 所属（和/英） |
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| 第30著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第31著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第31著者 所属（和/英） |
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| 第32著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第32著者 所属（和/英） |
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| 第33著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第33著者 所属（和/英） |
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| 第34著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第34著者 所属（和/英） |
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| 第35著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第35著者 所属（和/英） |
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| 第36著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 第36著者 所属（和/英） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-11-10 11:15:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
CPM |
| 資料番号 |
CPM2006-127 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.336 |
| ページ範囲 |
pp.81-86 |
| ページ数 |
6 |
| 発行日 |
2006-11-02 (CPM) |