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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2006-12-15 14:15 究極の水晶振動子へのアプローチ ○渡邊隆彌（FT Design Lab.） エレソ技報アーカイブへのリンク：  EMD2006-59 |
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| 抄録 | （和） | 水晶振動子は、エレクトロ・メカニカル部品の代表であり、機械エネルギーで蓄積する系の方が電気エネルギーで蓄積する系より10の4乗程度大きいことから、デバイスの超小型化の潜在的可能性をもった系である。厚みすべり振動を利用したAT-cut水晶板のサイズは、Beckmann定数から水晶板厚の約10倍と算出した。究極の水晶振動子を実現する方法として、任意のカットアングルの水晶板上にホモエピタキシャル成長水晶薄膜の完全結晶を形成した。このホモエピタキシャル水晶薄膜に、スプリアスの発生しない電極設計、製造プロセス全般について検討している。 |
| （英） | Quartz crystal units are representatives of an electromechanical parts. It is a system with the potentiality of making of the device micro from about 10000 times the system that accumulates by the mechanical energy larger than the system that accumulates by electric energy. The size of the AT-cut quartz plate using the thickness twist mode is calculated from the Beckmann’s constant to about ten times the quartz plate thickness. A complete crystal of the homo-epitaxial growth quartz crystal thin film is formed on the quartz plate of an arbitrary cutting angle as a method of achieving the ultimate quartz crystal units. The electrode design where spurious is not generated is applied to this homo-epitaxial growth crystal thin film. The manufacturing process whole of an ultimate quartz crystal units is examined. | |
| キーワード | （和） | 水晶振動子 / 厚みすべり振動 / Beckmann定数 / ホモエピタキシャル成長水晶薄膜 / 高速エッチング / / / |
| （英） | quartz crystal units / thickness twist mode / Beckmann’s constant / homo-epitaxial growth quartz crystal thin film / high speed etching / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 106, no. 434, EMD2006-59, pp. 9-14, 2006年12月. | |
| 資料番号 | EMD2006-59 | |
| 発行日 | 2006-12-08 (EMD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2006-59 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
| 開催期間 | 2006-12-15 - 2006-12-15 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EMD |
| 会議コード | 2006-12-EMD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 究極の水晶振動子へのアプローチ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Approach to the ultimate quartz crystal units |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水晶振動子 / quartz crystal units |
| キーワード(2)（和/英） | 厚みすべり振動 / thickness twist mode |
| キーワード(3)（和/英） | Beckmann定数 / Beckmann’s constant |
| キーワード(4)（和/英） | ホモエピタキシャル成長水晶薄膜 / homo-epitaxial growth quartz crystal thin film |
| キーワード(5)（和/英） | 高速エッチング / high speed etching |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邊 隆彌 / Takaya Watanabe / ワタナベ タカヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | FT Design Lab. (略称： FT Design Lab.) FT Design Lab. (略称： FT Design Lab.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2006-12-15 14:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EMD |
| 資料番号 | EMD2006-59 |
| 巻番号（vol） | vol.106 |
| 号番号（no） | no.434 |
| ページ範囲 | pp.9-14 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2006-12-08 (EMD) |
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