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| 講演名 | 2007-04-20 13:25 静電型インクジェットによる微細液滴吐出とSiの金属誘起固相誘起結晶化への応用 ○石田雄二・中川 豪・浅野種正（九大）  ED2007-2 SDM2007-2 OME2007-2 |
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| 抄録 | （和） | ニードル先端から液滴を吐出する方式の静電型インクジェットの液滴吐出挙動を調査した. ニードル先端の曲率半径を小さくすると液滴は微細化し, 先端径2 $\mu$mのニードルを有する静電型インクジェットノズルに, 電圧3 kV, 幅5 msの方形波電圧を1パルス印加した時に, 平均直径0.86 $\mu$mサイズのドットを描画できた. また、大きなサイズのドットを描画する場合には, 先端径を大きくするよりも, 先端径の小さい針を用いてパルス(液滴数)を増やす方がバラツキが小さくできることも分かった. このインクジェット描画装置によって, Niコロイド溶液をアモルファスSi (\textit{a}-Si) 薄膜表面上に描画して, 金属誘起固相結晶化 (Metal Induced Crystallization: MIC) を試みた. 結晶構造を後方散乱電子回折像により解析した結果, 描画ドット径の大きさによって, \textit{a}-Siは, 単一結晶粒, 多結晶粒, または金属誘起横方向結晶 (Metal Induced Lateral Crystallization: MILC) 化モードで成長した多結晶に, 結晶成長することを把握できた. また, 描画ドットを小さくすることにより, 単一結晶粒の形成の確率が増加することも分かった. これらより, ドット径を0.86 $\mu$mに制御描画すると, 0.62の確率でSiの単一結晶粒を形成できることを統計的に説明した. |
| （英） | Droplet ejection from an electrostatic inkjet nozzle having a needle has been investigated. It is found that reducing the apex radius of the needle is effective in drawing fine dot pattern. The nozzle having a needle of 2 $\mu$m in apex radius could pattern the dots of 0.86 $\mu$m size on the average, when a single pulse of rectangular voltage of 3 kV for 5 ms was applied. We demonstrated for the first time crystallization of amorphous silicon (\textit{a}-Si) film induced by inkjet-patterned Ni colloidal solution. Dependence of crystallization behavior of \textit{a}-Si on dot size was investigated by electron back scattering pattern (EBSP) analysis. Metal induced crystallization behavior is categorized into three modes: single-crystal grain growth, poly-crystal growth and lateral-crystal growth. Statistical analysis suggests that, when the dot size is 0.86 $\mu$m, a single-crystal grain is grown at the inkjet-printed sites with probability 0.62. | |
| キーワード | （和） | インクジェット描画 / 静電型インクジェットノズル / Niナノ粒子 / 薄膜トランジスター / 多結晶Si / 金属誘起固相結晶化 / アモルファスSi / 単一結晶粒 |
| （英） | inkjet patterning / electrostatic inkjet nozzle / Ni nano-particles / thin-film transistor / polycrystalline silicon / metal induced crystallization / amorphous silicon / single-crystal grain | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 14, SDM2007-2, pp. 5-10, 2007年4月. | |
| 資料番号 | SDM2007-2 | |
| 発行日 | 2007-04-13 (ED, SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2007-2 SDM2007-2 OME2007-2 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME SDM ED |
| 開催期間 | 2007-04-20 - 2007-04-20 |
| 開催地（和） | 九州大学西新プラザ |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-04-OME-SDM-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 静電型インクジェットによる微細液滴吐出とSiの金属誘起固相誘起結晶化への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Very Fine Droplet Ejection from Electro-Static Inkjet Nozzle and Its Aplication to Metal Induced Crystallization of Silicon |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | インクジェット描画 / inkjet patterning |
| キーワード(2)（和/英） | 静電型インクジェットノズル / electrostatic inkjet nozzle |
| キーワード(3)（和/英） | Niナノ粒子 / Ni nano-particles |
| キーワード(4)（和/英） | 薄膜トランジスター / thin-film transistor |
| キーワード(5)（和/英） | 多結晶Si / polycrystalline silicon |
| キーワード(6)（和/英） | 金属誘起固相結晶化 / metal induced crystallization |
| キーワード(7)（和/英） | アモルファスSi / amorphous silicon |
| キーワード(8)（和/英） | 単一結晶粒 / single-crystal grain |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石田 雄二 / Yuji Ishida / イシダ ユウジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中川 豪 / Gou Nakagawa / ナカガワ ゴウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 浅野 種正 / Tanemasa Asano / アサノ タネマサ |
| 第3著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-04-20 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | ED2007-2, SDM2007-2, OME2007-2 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.13(ED), no.14(SDM), no.15(OME) |
| ページ範囲 | pp.5-10 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-04-13 (ED, SDM, OME) |
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