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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-05-25 15:40 ハイブリッド光センサーによる表面変位測定の自己校正 橋爪慎哉（北計工業）・Ki Kou（福井大）・○上月具挙（広島国際大）・石川和彦（福井大）・菅 博（広島国際大）・桜井哲真・上田正紘（福井大）  LQE2007-13 |
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| 抄録 | （和） | 表面形状を高解像度かつ高レンジで測定し得る光学的システムを開発した．システムは測定面からの反射光を用いたｎｍ測定システムと散乱光を用いたμｍ測定システムのハイブリッド構造となっている．さらに，両システムで同一点を測定（同軸化）することにより，自己校正が可能な構造となっている．また，同軸化が測定値にもたらす影響は校正曲線を利用することによって全く問題にならないものであり，本システムの測定解像度はサブｎｍ，測定レンジは約±０．３ｍｍが期待できる． |
| （英） | A hybrid optical sensor for measuring surface displacement has been proposed by means of laser reflection and laser scattering. Two main subsystems are incorporated in a body; i.e., it is a hybrid system, with one subsystem based on a laser reflection and used for μm measurement, and the other based on an imaging of the irradiated portion and used for nm measurement. Both subsystems have the same optical axis, which results in a co-axial system. The system can then measure surface displacement at a point, which enables self-correction. Both subsystems hardly affects the measurement each other. The spatial resolution of this hybrid system is between sub-nm and 0.3mm. | |
| キーワード | （和） | リアルタイム測定 / 表面うねり / 表面粗さ / 反射光 / 散乱光 / 自己校正 / / |
| （英） | Hybrid optical sensor / Surface displacement / Co-axial system / Self-correction / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 71, LQE2007-13, pp. 59-64, 2007年5月. | |
| 資料番号 | LQE2007-13 | |
| 発行日 | 2007-05-18 (LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | LQE2007-13 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
| 開催期間 | 2007-05-25 - 2007-05-25 |
| 開催地（和） | 金沢大学角間キャンパス |
| 開催地（英） | Kanazawa Univ. |
| テーマ（和） | 量子光学、非線形光学、超高速現象、レーザ基礎、及び一般 |
| テーマ（英） | Quantum optics, nonlinear optics, ultra-high speed phenomenon, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | LQE |
| 会議コード | 2007-05-LQE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ハイブリッド光センサーによる表面変位測定の自己校正 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Self-correction for the Surface Displacement Measurement by Means of Hybrid Optical Sensor |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | リアルタイム測定 / Hybrid optical sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 表面うねり / Surface displacement |
| キーワード(3)（和/英） | 表面粗さ / Co-axial system |
| キーワード(4)（和/英） | 反射光 / Self-correction |
| キーワード(5)（和/英） | 散乱光 / |
| キーワード(6)（和/英） | 自己校正 / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋爪 慎哉 / Sinya Hashizume / ハシヅメ シンヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社 北計工業 (略称： 北計工業) Hokkei Industries Co. Ltd. (略称： Hokkei Industries) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | Ki Kou / Qi Gao / コウ キ |
| 第2著者 所属（和/英） | 福井大学 (略称： 福井大) University of Fukui (略称： Univ. of Fukui) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上月 具挙 / Tomotaka Kozuki / コウヅキ トモタカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 広島国際大学 (略称： 広島国際大) Hiroshima International University (略称： Hiroshima International Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石川 和彦 / Kazuhiko Ishikawa / イシカワ カズヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 福井大学 (略称： 福井大) University of Fukui (略称： Univ. of Fukui) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菅 博 / Hiroshi Suga / スガ ヒロシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 広島国際大学 (略称： 広島国際大) Hiroshima International University (略称： Hiroshima International Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 桜井 哲真 / Tetsuma Sakurai / サクライ テツマ |
| 第6著者 所属（和/英） | 福井大学 (略称： 福井大) University of Fukui (略称： Univ. of Fukui) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上田 正紘 / Masahiro Ueda / ウエダ マサヒロ |
| 第7著者 所属（和/英） | 福井大学 (略称： 福井大) University of Fukui (略称： Univ. of Fukui) |
| 講演者 | 第3著者 |
| 発表日時 | 2007-05-25 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | LQE |
| 資料番号 | LQE2007-13 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.71 |
| ページ範囲 | pp.59-64 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-05-18 (LQE) |
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