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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-06-16 12:00 バナジウムイオン注入ガードリングを用いた4H-SiC PiNダイオードの逆方向特性 ○小野修一・新井 学（新日本無線）  ED2007-46 |
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| 抄録 | （和） | 4H-SiC PiNダイオードのターミネーションとして、メサ構造とガードリング構造の２種類を形成して、逆方向特性を比較した。ブレイクダウン電圧の温度依存性から、アバランシェブレイクダウンであることを確認し、更に、アバランシェブレイクダウン時の発光評価より、ガードリング構造を用いたPiNダイオードの方が、メサ構造を用いた場合より、ターミネーション部分への電界集中が緩和されることがわかった。さらに、ガードリング構造を用いたPiNダイオードは、インパットダイオードとして良好なRF特性を示した。 |
| （英） | We fabricated the 4H-SiC PiN diodes with mesa structure, and Vanadium ion implanted guard-ring. The reverse characteristics and light emission of the PiN diodes were evaluated under the avalanche breakdown condition. The 4H-SiC PiN diodes with guard-ring showed the uniform avalanche breakdown characteristics, and showed the good RF characteristics for IMPATT diode. | |
| キーワード | （和） | 4H-SiC / PiNダイオード / アバランシェブレイクダウン / バナジウム / ガードリング / インパットダイオード / / |
| （英） | 4H-SiC / PiN diode / avalanche breakdown / vanadium / guard-ring / IMPATT diode / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 95, ED2007-46, pp. 79-83, 2007年6月. | |
| 資料番号 | ED2007-46 | |
| 発行日 | 2007-06-08 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2007-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2007-06-15 - 2007-06-16 |
| 開催地（和） | 富山大学 |
| 開催地（英） | Toyama Univ. |
| テーマ（和） | 化合物半導体プロセス・デバイス・一般 |
| テーマ（英） | Compound Semiconductor Process, Device, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2007-06-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | バナジウムイオン注入ガードリングを用いた4H-SiC PiNダイオードの逆方向特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Reverse characteristics of 4H-SiC PiN diode with Vanadium ion implanted guard-ring |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 4H-SiC / 4H-SiC |
| キーワード(2)（和/英） | PiNダイオード / PiN diode |
| キーワード(3)（和/英） | アバランシェブレイクダウン / avalanche breakdown |
| キーワード(4)（和/英） | バナジウム / vanadium |
| キーワード(5)（和/英） | ガードリング / guard-ring |
| キーワード(6)（和/英） | インパットダイオード / IMPATT diode |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小野 修一 / Shuichi Ono / オノ シュウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 新日本無線株式会社 (略称： 新日本無線) New Japan Radio Co.,Ltd. (略称： NJRC) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新井 学 / Manabu Arai / |
| 第2著者 所属（和/英） | 新日本無線株式会社 (略称： 新日本無線) New Japan Radio Co.,Ltd. (略称： NJRC) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-06-16 12:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2007-46 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.95 |
| ページ範囲 | pp.79-83 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2007-06-08 (ED) |
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