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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-08-03 13:30 パターニングしたSOI基板上のGaNナノロッド成長とその評価 ○徐 鍾旭・長谷川繁彦・朝日 一（阪大）  ED2007-136 |
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| 抄録 | （和） | 窒化物半導体は光エレクトロニクスのキーデバイスとして期待されている．その中で，次世代ディスプレイとして注目されている電子放出ディスプレイに応用するために，本研究ではマトリクス構造のGaN電子放出エミッタの作製を試み，フォトリソグラフィ及びエッチングでパターニングしたSOI基板上に，分子線エピタキシー法でGaNナノロッドを成長して，その評価を行った． |
| （英） | III－nitrtide semiconductors are expected to be key materials for optoelectronics. In this study, we have tried to fabricate GaN-based field emitter arrays toward application to field emission displays. We have investigated structural properties and field emission characteristics of field emission arrays consisting of GaN nanorods grown on patterned SOI substrates by molecular beam epitaxy. | |
| キーワード | （和） | GaNナノロッド / 電界放出 / MBE / SOI基板 / / / / |
| （英） | GaN nanorods / field emission / MBE / SOI substrate / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 177, ED2007-136, pp. 1-4, 2007年8月. | |
| 資料番号 | ED2007-136 | |
| 発行日 | 2007-07-27 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2007-136 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2007-08-03 - 2007-08-03 |
| 開催地（和） | 大阪大学 吹田キャンパス 銀杏会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2007-08-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | パターニングしたSOI基板上のGaNナノロッド成長とその評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Growth and analysis of GaN nanorods on the patterned SOI substrate |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaNナノロッド / GaN nanorods |
| キーワード(2)（和/英） | 電界放出 / field emission |
| キーワード(3)（和/英） | MBE / MBE |
| キーワード(4)（和/英） | SOI基板 / SOI substrate |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 徐 鍾旭 / Jonguk Seo / セオ ジョンウク |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪大学 産業科学研究所 (略称： 阪大) The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長谷川 繁彦 / Shigehiko Hasegawa / ハセガワ シゲヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪大学 産業科学研究所 (略称： 阪大) The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 朝日 一 / Hajime Asahi / アサヒ ハジメ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪大学 産業科学研究所 (略称： 阪大) The Institute of Scientific and Industrial Research, Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-08-03 13:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2007-136 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.177 |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-07-27 (ED) |
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