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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-08-09 16:35 スパッタ法により作製したMg-Ni薄膜の特性 ○愛甲隆史・長浜大作・平田 真・清水英彦・丸山武男・岩野春男・川上貴浩（新潟大）  CPM2007-43 |
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| 抄録 | （和） | 加熱基板上にMgとNiを積層させることによりMg-Ni合金薄膜の作製を試み，微細構造と光学的特性との関係性を検討した。その結果，どの積層数の膜においても基板温度150℃においてMg(002)面，Mg2Ni(003)面の回折ピークが観測され，Mgとの混晶膜となっていた。また，積層構造の変化に伴い，スパッタ粒子の堆積エネルギーによるNi粒子の拡散が生じると考えられる。そして，膜表面粗さRa，抵抗率においては，積層数を変化させたことによる変化は見られなかったが，基板温度200度ではどの膜もRaの値と抵抗率が大きく上昇し， Mgの再蒸発が生じていると考えられる。すべての膜において，水素化時の透過率は1%未満であり，調光ミラー特性は得られなかった。 |
| （英） | We formed making Mg-Ni alloy thin films on the heated substrate by alternate deposition of Mg film and Ni film, and examined relation of that microstructure and optical characteristic. As a result, the films had excellent c-axis orientation of articles is caused changing the laminated structure in the substrate temperature of 150℃. Surface roughness (Ra) and resistivity did not get the change by having changed the number Mg and Mg2Ni, and It was a mix crystal film with Mg. Moreover, it is thought that the diffusion of the Ni particle by the energy of sputtered p of lamination layer, but Ra and resistivity rose greatly in any film in the substrate temperature of 200℃, so the film is thought to cause re-evaporation of Mg. In all the films, the transmittance at the hydrogenation was less than 1%, and the characteristic of switching mirror was not obtained. | |
| キーワード | （和） | Mg-Ni / 積層 / 調光ミラー特性 / / / / / |
| （英） | Mg-Ni / Alternate Deposition / Characteristics of Switching mirror / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 178, CPM2007-43, pp. 39-44, 2007年8月. | |
| 資料番号 | CPM2007-43 | |
| 発行日 | 2007-08-02 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2007-43 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2007-08-09 - 2007-08-10 |
| 開催地（和） | 山形大学 |
| 開催地（英） | Yamagata Univ. |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | Electronic Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2007-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | スパッタ法により作製したMg-Ni薄膜の特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characteristics of Mg-Ni thin films deposited by sputtering method |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Mg-Ni / Mg-Ni |
| キーワード(2)（和/英） | 積層 / Alternate Deposition |
| キーワード(3)（和/英） | 調光ミラー特性 / Characteristics of Switching mirror |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 愛甲 隆史 / Takashi Aikoh / アイコウ タカシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長浜 大作 / Daisaku Nagahama / ナガハマ ダイサク |
| 第2著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平田 真 / Makoto Hirata / ヒラタ マコト |
| 第3著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 丸山 武男 / Takeo Maruyama / マルヤマ タケオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ |
| 第6著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川上 貴浩 / Takahiro Kawakami / カワカミ タカヒロ |
| 第7著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-08-09 16:35:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2007-43 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.178 |
| ページ範囲 | pp.39-44 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-08-02 (CPM) |
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