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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-08-10 10:55 Siバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサの試作・評価 ○鈴木敦広・原田知親・奥山澄雄・長沼 博・松下浩一（山形大）  CPM2007-47 |
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| 抄録 | （和） | 近年，MEMSセンサの小型化が求められている．その小型化の方法として，MEMSと周辺回路を積層させ，小型化を図った圧力センサが報告されている．この技術を応用することで，従来より小型化した温度センサICが作製できれば，集積回路の省スペース化などに貢献できると考えられる． そこで本研究では，MEMSと周辺回路を積層させて作製する温度センサICの温度検知部分をMEMS部分で行うための基礎的研究として，SiとAlのバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサを提案・試作を行い，このコンデンサの温度変化に対する特性評価を行った．その結果，可動Siバイメタル部を形成したコンデンサは，形成しないコンデンサより温度上昇に対して顕著な容量上昇を示すことが分かった． |
| （英） | Recently, miniaturization of MEMS sensors are required in integrated circuits(IC). As for a miniaturization method, it is reported that the pressure sensor is fabricated on its peripheral integrated circuits. By applying this technique to IC temperature sensors, we can achieve high-density device integration. In this study, as a fundamental study of miniaturized IC temperature sensors fabricated on peripheral integrated circuits, we present and fabricate the temperature controlled tunable capacitor using silicon and aluminum bimetal, and evaluate the temperature capacitance characteristics. As a result, it is shown that the capacitance with tunable silicon bimetal is more remarkable increased by increase of temperature than that without it. |
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| キーワード | （和） | シリコン / バイメタル / コンデンサ / 温度センサ / / / / |
| （英） | silicon / bimetal / capacitor / temperature sensor / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 178, CPM2007-47, pp. 59-64, 2007年8月. | |
| 資料番号 | CPM2007-47 | |
| 発行日 | 2007-08-02 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2007-47 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2007-08-09 - 2007-08-10 |
| 開催地（和） | 山形大学 |
| 開催地（英） | Yamagata Univ. |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | Electronic Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2007-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Siバイメタルを利用した温度変化型可変容量コンデンサの試作・評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Implementation of Temperature Controlled Tunable Capacitor using Silicon Bimetal |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン / silicon |
| キーワード(2)（和/英） | バイメタル / bimetal |
| キーワード(3)（和/英） | コンデンサ / capacitor |
| キーワード(4)（和/英） | 温度センサ / temperature sensor |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 敦広 / Atsuhiro Suzuki / スズキ アツヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 原田 知親 / Tomochika Harada / ハラダ トモチカ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奥山 澄雄 / Sumio Okuyama / オクヤマ スミオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長沼 博 / Hiroshi Naganuma / ナガヌマ ヒロシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松下 浩一 / Koichi Matsushita / マツシタ コウイチ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-08-10 10:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2007-47 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.178 |
| ページ範囲 | pp.59-64 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-08-02 (CPM) |
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