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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-09-28 10:30 ラム波の特長を利用したガスセンサーの基本的検討 ○山本直樹・中川恭彦・垣尾省司（山梨大）  US2007-45 |
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| 抄録 | （和） | 板厚が波長に比べて等しいか或いはそれ以下の場合にラム波が効率よく励振される．ラム波は基板裏面で反射しながら伝搬する．そのラム波の特長を利用した水素ガスセンサを提案する．センサ感度の感応膜の膜厚，ラム波モード依存性を理論解析と実験によって求める．ラム波遅延線の圧電基板はY-cut Z方向伝搬・LiNbO3基板(基板厚91 μm，両面研磨)を用いた．表面にはアルミニウムで波長100 μmのすだれ状電極をフォトエッチング法で設け，裏面にはRFスパッタリング法を用いて感応膜を装荷した．感応膜としてパラジウム銀合金を用いた．実験では水素濃度9.1 %で感度5.4 ppmを得ることができた． |
| （英） | When the thickness of the substrate is equal or thereunder with a wavelength, the Lamb wave excited efficiently. The Lamb wave reflects the substrate back side and propagates. We suggest the hydrogen gas sensor using the good point of the Lamb wave. We find the film thickness of the response film of the sensor sensitivity, Lamb wave mode dependence by theoretical analysis and an experiment. The Lamb wave delay line was fabricated on a YZ-lithium niobate (YZ-LiNbO3, substrate thickness 91 μm, both mirror faces) substrate by photo-etching methods, using almium metallization. The period of interdigital transducer was 100 μm. The sensitive membrane was deposited on the back side by RF-sputtering method. The PdAg alloy was used as a sensitive membrane. We were able to get sensitivity 5.4 ppm at hydrogen density 9.1 % by the experiment. | |
| キーワード | （和） | ラム波 / ガスセンサ / 水素 / / / / / |
| （英） | Lamb wave / gas sensor / hydrogen / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 233, US2007-45, pp. 13-18, 2007年9月. | |
| 資料番号 | US2007-45 | |
| 発行日 | 2007-09-21 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2007-45 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2007-09-27 - 2007-09-28 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2007-09-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ラム波の特長を利用したガスセンサーの基本的検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The basic examination of the gas sensor using a good point of the Lamb wave |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ラム波 / Lamb wave |
| キーワード(2)（和/英） | ガスセンサ / gas sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 水素 / hydrogen |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山本 直樹 / Naoki Yamamoto / ヤマモト ナオキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学大学院医学工学総合教育部 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中川 恭彦 / Yasuhiko Nakagawa / ナカガワ ヤスヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学大学院医学工学総合研究部 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学大学院医学工学総合研究部 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-09-28 10:30:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2007-45 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.233 |
| ページ範囲 | pp.13-18 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2007-09-21 (US) |
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