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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-05 16:15 プラズマプロセスによるMOSFET特性ばらつきの統計的評価 ○渡部俊一・須川成利・阿部健一・藤澤孝文・宮本直人・寺本章伸・大見忠弘（東北大）  SDM2007-193 |
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| 抄録 | （和） | 新規に提案した大規模アレイTEGを用い、アンテナ比を変化させた多数個のMOSFETの電気的特性を統計的に評価した。アンテナ比の増加に伴い、Id-Vgs特性が劣化することを確認し、現状のプラズマプロセスがMOSFETの電気的特性に与える影響を明らかにした。また、アンテナ形成のプラズマプロセスに低電子温度のマイクロ波励起プラズマを用いることにより、プラズマダメージによるId-Vgs特性の劣化を抑制できることを示した。 |
| （英） | In this paper, we report the statistical evaluation of characteristics degradation in MOSFETs caused by plasma damages which induces the variability of MOSFETs. We demonstrated the suppression of the variability and degradation of MOSFETs characteristics by using microwave excited low plasma damage process. | |
| キーワード | （和） | MOSFET / TEG(Test Element Group) / 統計的評価 / チャージアップダメージ / / / / |
| （英） | MOSFET / TEG(Test Element Group) / statistical evaluation / charge-up damage / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 245, SDM2007-193, pp. 69-72, 2007年10月. | |
| 資料番号 | SDM2007-193 | |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2007-193 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2007-10-04 - 2007-10-05 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and Novel Process Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プラズマプロセスによるMOSFET特性ばらつきの統計的評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Statistical Evaluation of Characteristics Variability caused by Plasma Processes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | TEG(Test Element Group) / TEG(Test Element Group) |
| キーワード(3)（和/英） | 統計的評価 / statistical evaluation |
| キーワード(4)（和/英） | チャージアップダメージ / charge-up damage |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡部 俊一 / Syunichi Watabe / ワタベ シュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa / スガワ シゲトシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阿部 健一 / Kenichi Abe / アベ ケンイチ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤澤 孝文 / Takafumi Fujisawa / フジサワ タカフミ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 直人 / Naoto Miyamoto / ミヤモト ナオト |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-05 16:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2007-193 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.245 |
| ページ範囲 | pp.69-72 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) |
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