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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-05 13:10 マイクロ波CVDを用いた高移動度ボトムゲート微結晶シリコンTFTの試作 ○廣江昭彦・寺本章伸・大見忠弘（東北大）  SDM2007-186 |
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| 抄録 | （和） | マイクロ波(2.45GHz)励起プラズマCVDを用いて、微結晶シリコンのデポを行った。デポ条件を変えて成膜を行い、(220)優先配向の膜と(111)優先配向の膜との比較を行ったところ、(220)優先配向の膜は断面形状が緻密で、ESR(Electron Spin Resonance)によるdangling bondの密度も低い事が分かった。この（220）優先配向の膜を用いてTFTの試作を行ったところ、W/L=20/4mのbottom gate TFTにおいて、水素プラズマ処理後、移動度1.4cm2/Vsec、on/off比が５桁以上という特性を得ることに成功した。 |
| （英） | c-Si has been deposited by microwave (2.45GHz) plasma CVD. (220) preferentially oriented film and (111) preferentially oriented film has been deposited and compared. (220) preferentially oriented film shows continuous cross sectional morphology, and has less dangling bond density compared with (111) preferentially oriented film. Bottom gate TFT has been fabricated with (220) preferentially oriented c-Si. Mobility of about 1.4cm2/Vsec and on/off ratio of more than 105 has been achieved for W/L=20/4m bottom gate transistor after hydrogen plasma treatment. | |
| キーワード | （和） | マイクロ波 / プラズマCVD / 微結晶シリコン / TFT / / / / |
| （英） | microwave / plasma CVD / microcrystallin Si / TFT / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 245, SDM2007-186, pp. 41-44, 2007年10月. | |
| 資料番号 | SDM2007-186 | |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2007-186 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2007-10-04 - 2007-10-05 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and Novel Process Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | マイクロ波CVDを用いた高移動度ボトムゲート微結晶シリコンTFTの試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High Mobility Bottom Gate Microcrystalline Si TFT Fabricated by Microwave Plasma CVD |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロ波 / microwave |
| キーワード(2)（和/英） | プラズマCVD / plasma CVD |
| キーワード(3)（和/英） | 微結晶シリコン / microcrystallin Si |
| キーワード(4)（和/英） | TFT / TFT |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣江 昭彦 / Akihiko Hiroe / ヒロエ アキヒコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-05 13:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2007-186 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.245 |
| ページ範囲 | pp.41-44 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) |
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