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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-10-05 11:20 減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発 ○鈴木克昌・石原良夫・迫田 薫（大陽日酸）・白井泰雪・平山昌樹・寺本章伸・大見忠弘（東北大）・渡辺高行（宇部マテリアルズ）  SDM2007-184 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 245, SDM2007-184, pp. 35-38, 2007年10月. | |
| 資料番号 | SDM2007-184 | |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2007-184 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2007-10-04 - 2007-10-05 |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and Novel Process Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-10-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of a high efficiency Fluorocarbon abatement system utilizing plasma and Ca(OH)2/CaO under a decompression atmosphere |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
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| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 克昌 / Katsumasa Suzuki / スズキ カツマサ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大陽日酸株式会社 (略称： 大陽日酸) Taiyo Nippon Sanso Corporation (略称： Taiyo Nippon Sanso Corp.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石原 良夫 / Yoshio Ishihara / イシハラ ヨシオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大陽日酸株式会社 (略称： 大陽日酸) Taiyo Nippon Sanso Corporation (略称： Taiyo Nippon Sanso Corp.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 迫田 薫 / Kaoru Sakoda / サコダ カオル |
| 第3著者 所属（和/英） | 大陽日酸株式会社 (略称： 大陽日酸) Taiyo Nippon Sanso Corporation (略称： Taiyo Nippon Sanso Corp.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白井 泰雪 / Yasuyuki Shirai / シライ ヤスユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター (略称： 東北大) New Industry Creation Hatchery Center (略称： NICHe) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平山 昌樹 / Masaki Hirayama / ヒラヤマ マサキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター (略称： 東北大) New Industry Creation Hatchery Center (略称： NICHe) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto / テラモト アキノブ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター (略称： 東北大) New Industry Creation Hatchery Center (略称： NICHe) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi / オオミ タダヒロ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター (略称： 東北大) New Industry Creation Hatchery Center (略称： NICHe) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡辺 高行 / Takayuki Watanabe / ワタナベ タカユキ |
| 第8著者 所属（和/英） | 宇部マテリアルズ株式会社 (略称： 宇部マテリアルズ) Ube Material Industries Ltd (略称： Ube Material Industries, Ltd.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2007-10-05 11:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2007-184 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.245 |
| ページ範囲 | pp.35-38 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2007-09-27 (SDM) |
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