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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2007-12-14 10:40 レーザプラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果 高梨泰幸・○松尾直人・上拾石和也・部家 彰・天野 壮・宮本修治・望月孝晏（兵庫県立大）  SDM2007-224 |
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| 抄録 | （和） | 我々はレーザプラズマX線(LPX)と低エネルギ密度でのエキシマレーザアニーリング(ELA)を併用した結晶化について研究した。LPX照射後に50,60 mJ/cm2 でELAを行ったpoly-Si膜の結晶化率は共に75-85％であった。ELAの前処理としてLPXを照射すると、結晶化開始の臨界エネルギ密度を減少させることができた。この現象がLPX照射による温度上昇に依らないということが実験的に示された。 |
| （英） | We investigated the crystallization by Laser Plasma Soft-X-ray (LPX) irradiation followed by Excimer Laser Annealing (ELA) at low-energy densities of 40-60 mJ/cm2. The crystalline fraction of poly-Si films prepared at 50 and 60 mJ/cm2 for the LPX followed by the ELA was 75-85 %. The LPX irradiation before ELA decreases the critical energy density for the start of the crystallization. It is indicated experimentally that this phenomenon is not due to a rise in heat by the LPX irradiation. | |
| キーワード | （和） | 軟X線 / Si / 低温 / 結晶化 / TFT / / / |
| （英） | soft X-ray / Si / low temperature / crystallization / TFT / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 107, no. 388, SDM2007-224, pp. 9-13, 2007年12月. | |
| 資料番号 | SDM2007-224 | |
| 発行日 | 2007-12-07 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2007-224 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2007-12-14 - 2007-12-14 |
| 開催地（和） | 奈良先端科学技術大学院大学 |
| 開催地（英） | Nara Institute Science and Technology |
| テーマ（和） | シリコン関連材料の作製と評価 |
| テーマ（英） | Silicon related material, process and device |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2007-12-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | レーザプラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Influence of laser-plasma x-ray irradiation on crystallization of a-Si film by excimer laser annealing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 軟X線 / soft X-ray |
| キーワード(2)（和/英） | Si / Si |
| キーワード(3)（和/英） | 低温 / low temperature |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶化 / crystallization |
| キーワード(5)（和/英） | TFT / TFT |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高梨 泰幸 / Yasuyuki Takanashi / タカナシ ヤスユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 物質系工学専攻 (略称： 兵庫県立大) Dept.Materials Science & Chemistry, University of Hyogo (略称： Dept.Mat.Sci.&Chem.,Univ.Hyogo) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松尾 直人 / Naoto Matsuo / マツオ ナオト |
| 第2著者 所属（和/英） | 物質系工学専攻 (略称： 兵庫県立大) Dept.Materials Science & Chemistry, University of Hyogo (略称： Dept.Mat.Sci.&Chem.,Univ.Hyogo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 上拾石 和也 / Kazuya Uejukkoku / ウエジュッコク カズヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 物質系工学専攻 (略称： 兵庫県立大) Dept.Materials Science & Chemistry, University of Hyogo (略称： Dept.Mat.Sci.&Chem.,Univ.Hyogo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 部家 彰 / Akira Heya / ヘヤ アキラ |
| 第4著者 所属（和/英） | 物質系工学専攻 (略称： 兵庫県立大) Dept.Materials Science & Chemistry, University of Hyogo (略称： Dept.Mat.Sci.&Chem.,Univ.Hyogo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天野 壮 / Sho Amano / アマノ ショウ |
| 第5著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 (略称： 兵庫県立大) Labolatory of Advanced Science and Technology for Industry (略称： LASTI,Univ.Hyogo) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮本 修治 / Shuji Miyamoto / ミヤモト シュウジ |
| 第6著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 (略称： 兵庫県立大) Labolatory of Advanced Science and Technology for Industry (略称： LASTI,Univ.Hyogo) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 望月 孝晏 / Takayasu Mochizuki / モチヅキ タカヤス |
| 第7著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所 (略称： 兵庫県立大) Labolatory of Advanced Science and Technology for Industry (略称： LASTI,Univ.Hyogo) |
| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2007-12-14 10:40:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2007-224 |
| 巻番号（vol） | vol.107 |
| 号番号（no） | no.388 |
| ページ範囲 | pp.9-13 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2007-12-07 (SDM) |
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